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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 规格型号 | 故障原因 | 维保要求 |
| 真空镀膜机维修保养 | 机械设备、装置、元件>泵及配件 | 1.0台 | 1.0台 | PVD7060 | 其他 | 物理磁控溅射炉维护保养要求: 1、靶材、挡板、炉门等旋转、运动位置密封圈更换; 2、精抽阀、挡板阀、预抽阀维护; 3、更换后真空满足5*10-4pa.m/s 要求; 4、包含密封圈材料、人工费用; 5 |