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| 申购单主题: | 样品杆等离子清洗仪 | 申购单位: | **** | ||||
| 申购备注: | 供应商需要提交****实验室已签合同复印件(价格可以隐去)。样品杆等离子清洗仪招标参数请供应书面确认响应, ★为必须满足项目,不满足不得中标;其他为扣分项,任何一项不满足扣3分,扣分累计9分不得中标。分数相同时价格最低者中标,价格等同的情况下扣分最少者中标。 | ||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 样品杆等离子清洗仪 | 速普或进口 | 不限定 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 保养2年 | ||||||
| 规格 | 样品杆等离子清洗仪招标参数如下请供应书面响应, ★为必须满足项目,不满足不得中标;其他为扣分项,任何一项不满足扣3分,扣分累计15分不得中标。分数相同时价格最低者中标,价格等同的情况下扣分最少者中标。 1. 泵组:进口品牌涡轮分子泵+无油隔膜泵 2. 分子泵入口法兰:DN 63 ISO -K (标准) 3. 分子泵抽速:≥84 L/s (N2) 4. 前级泵抽速:≥0.7m3/h 5. ★极限真空:≤5*10-4 Pa 6. ★清洗启停周期:≤300 s 7. TEM样品杆配件:适用于Thermo、JEOL、HITACHI等品牌投射电镜样品杆可选 8. ★样品腔室尺寸:不小于100*100*80 mm,等离子清洗强弱分区设置;可以放置不少于2路TEM holder 9. ★等离子体清洗源:远程RF射频源原理 10. 清洗电源功率:13.56 MHz RF电源,5-50W可调 11. ★清洗气体控制:不少于3路MFC流量计控制,可以外接如Ar或O2或H2等清洗气体 12. 真空规:进口品牌全量程复合规 13. ★操作方式:触摸屏控制,工艺菜单,控制系统提供互锁保护功能 14. 重量:约30Kg 15. 尺寸:不大于600mm宽*500mm深*450mm高 16. 电源:220V AC,50/60Hz 接地三脚插头 17. 功耗:<500W 18. 冷却方式:风冷 19. 质量保证:2年免费/终身维护 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 487500 | 最低价原则 | |||||