微纳加工系统招标公告

一、项目名称：微纳加工系统

二、招标编号：****

三、招标人：****

地址：**省**市东环路50号**楼0904室

邮编：215021 传真：0512-****5076

联系人：罗老师 电话：0512-****4198，****4359

电子邮箱：lrb998@suda.****.cn

技术联系人：王老师 电话：183****7129

电子邮箱：kxwang@suda.****.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

本项目共分4标段，所有标段可兼投兼中。供应商可选择参与其中一个或多个标段投标，也可参与全部标段投标。

标段1：紫外纳米压印机（预算金额为92万元）

标段2：磁流变抛光机（预算金额为300万元）

标段3：机械臂抛光设备（预算金额为120万元）

标段4：光学定心车床（预算金额为90万元）

第一标段：紫外纳米压印机1台

（一）设备性能指标

1.应用范围：广泛应用于各类PSS图形、微柱、微球(MLA)、微孔图形、高深宽比结构、光栅、微柱、斜齿光栅、WGP、DOE等，适合于对于后续进行刻蚀的图案压印，具有高均匀性，高工艺兼容性。

2.压印方式：复合PET模板滚压以及气动软模压印。

2.压印基片面型：平面、球面、非球面、柱面等。

3.适用母版材质：硅片、金属、石英、玻璃等。

4.适用基片材质：硅片、金属、石英、玻璃等。

5.压印尺寸： 8inch 及以下兼容。

6.腔体高度： 20mm及以上。

7.压印线宽范围： 30nm~1000um。

8.重复精度：10 nm。

9.转印误差＜±5%。

10.能实现的深宽比≥5：1@50nm。

11.压印过程可实现全自动，并支持手动操作。

（二）配置要求

1.压印单元

1.1压印压力：可调，最大压力5公斤。

1.2压印速度：可调，最慢速度为1mm/s左右。

1.3 脱膜方式：自动脱模并兼容手动。

2..光源

2.1类型： 365nm，LED 光源。

2.2功率可调，最大额定功率 500mw/cm2左右。

2.3 冷却：自然冷却。

3.热板模块

3.1最高温度 100℃左右。

3.2 加热均匀度 ±1℃。

3.3冷却方式自然冷却。

4.对准

4.1可调对准精度：±5um。

4.2 分场显微镜及CCD相机。

4.2压印模板吸盘能够进行360°旋转，最小刻划1°，最小调整量3。

4.3 电动X、Y、Z及Theta平台，最小刻划5 um, Theta平台精度同4.2。

（三）需提供8英寸对位压印结果样品。

（四）质保期不少于1年。

第二标段：磁流变抛光机1台

1. 最大可加工尺寸≥Φ500mm。

2.可加工材料包括：微晶玻璃、熔石英玻璃、各种常规玻璃材料、碳化硅、单晶锗、单晶硅、硒化锌、硫化锌、红外硫系玻璃等反射镜、红外透镜材料。

3.可实现凹凸球面、凹凸非球面、平面、自由曲面、柱面、轮胎面的高精度加工。

4.可实现圆形、环形、矩形、多边形、椭圆形等异形轮廓外形元件的加工。

5.具备在线工件位姿测量及碰撞预警提示功能。

6.各直线轴定位精度优于8um，各旋转轴定位精度优于0.01度。

7.500mm口径光学元件表面面形加工精度优于RMS1/100λ(λ=632.8nm)。

8.加工表面粗糙度优于Ra0.5nm，光洁度优于10-5。

9.去除函数稳定性：变化率≤3%/8小时

10.质保期不少于1年，并免费提供后续技术支持及控制、工艺软件升级

第三标段：机械臂抛光设备1台

1.最大可加工尺寸≥Φ500mm。

2.可加工材料包括：微晶玻璃、熔石英玻璃、各种常规玻璃材料、碳化硅、单晶锗、单晶硅、硒化锌、硫化锌、红外硫系玻璃等反射镜、红外透镜材料。

3.可实现凹凸球面、凹凸非球面、平面、自由曲面、柱面、轮胎面的高精度加工。

4.可实现圆形、环形、矩形、多边形、椭圆形等异形轮廓外形元件的加工。

5.提供多种轨迹规划功能，包括并不仅限于光栅轨迹、螺旋线轨迹等。

6. 500mm口径光学元件面形加工精度优于RMS1/80λ(λ=632.8nm)。

7.机械臂本体重复定位精度优于0.05mm。

8.压力控制稳定性优于99%。

9.质保期不少于1年，并免费提供后续技术支持及控制、工艺软件升级。

第四标段：光学定心车床 1台

1.样品曲率范围：±3mm ~±∞mm。

2.样品口径：5 mm ~250mm。

3.加工精度：±3um。

4.车床参数

4.1车床类型：双坐标数显仪表车床。

4.2工作模式：卧式。

4.3主轴类型：油压。

4.4径跳：2.5um。

4.5端跳：1.5um。

4.6径偏及角偏：2.5um。

4.7圆度：1um@φ45mm。

4.8圆柱度：3um/100mm。

4.9主轴转速：50r/min ~2500r/min。

4.10最小进给量：0.01mm/0.02mm。

4.11进给范围：纵向：5mm/min ~114mm/min; 横向：0.5mm/min ~9.5mm/min。

5.测试头参数

5.1自准直仪类型：电视内调焦变焦。

5.2数量：2。

5.3口径：25mm 。

5.4分划板类型：十字。

5.5系统焦距：206mm@无穷远。

5.6变焦范围：-∞~-289mm；+441mm~+∞。

5.7有效通光孔径：Φ25mm。

5.8自准直测量精度：优于1″。

5.9分辨率：0.1″。（@10X转向镜）

5.10光源：LED光源。

6.****中心偏计算分析软件

6.1镜组各个镜面球心像位置计算

6.2镜组各个镜面偏心误差计算

6.3镜组系统的偏心误差分析，最佳光轴规划

7.万向卡罐

7.1平移调节范围：±3mm。

7.2倾斜调节范围：±1.8°。

7.3最大负载：10Kg。

8.质保期不少于1年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分。本评分标准适用于所有标段，具体内容如下：

（一）针对中小企业、****监狱企业的评审（加分）：

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《****财政厅****政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关****政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《****监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残****监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。

小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企****监狱管理局、戒毒管理局（含**生产建设****监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。

注：

①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。

②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，按“政府采购法”相****政府监管部门给予行政处罚。

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。

（二）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，****委员会根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，****委员会评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技****委员会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（三）价格分（35分）

1．基准价：满足招标文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（四）综合商务（15分）

1．综合实力（2分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据招标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（3分）

根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）一般资格条件

1.具有独立承担民事责任的能力

2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度

3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力

4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录

5.近三年内，在经营活动中没有重大违法记录

6.本项目不接受联合体投标

****政府采购政策需满足的资格要求：无。

八、投标文件的组成

（一）投标文件一

1.投标函

2.投标报价表

3.详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1.投标基本情况一览表

2.详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

3.技术方案、服务承诺、培训承诺

4.资格证明文件

5.《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》****管理局、戒毒管理局（含**生产建设****监狱企业的证明文件（如有）

6.投标人认为应提供的其他材料

特别说明：

1.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2.“投标文件一”，正本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3.相关材料及填写规范按照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《**大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年12月8日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.****.cn）。

十一、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2025年12月12日14：00前；

2. 收件人信息

收件人：罗荣飚

联系方式：136****9516

收件地址：**省**市东环路50号**楼0904室

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2025年12月12日13：30～14：00

2. 递交地点：**省**市东环路50****大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2025年12月12日14：00。标书代写

十三、开标时间：2025年12月12日14：00。标书代写

招标公告 附件.rar