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2英寸高真空磁控溅射头
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| 申购单主题： | 2英寸高真空磁控溅射头 | 申购单位： | **** | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2025-11-20 17:28:28 | 申购备注： |
| 2英寸高真空磁控溅射头 | **科晶 | HVMSS-SPC-2 | 1 |
| 规格 |
| 需要配备1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射头安装在真空腔体上。 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2可安装直径为2“的靶材，适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。 主要特点 1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，**其使用寿命。 4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头，便于操作。 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。 1、阳极护罩直径：Φ3.5" 2、所用靶材：直径2"（50.8mm），非磁性靶zui大厚度1/4"，磁性靶zui大厚度1/16" 3、磁铁：NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率：30% 5、所需功率：DCzui大1000W，RFzui大500W 6、溅射电流：zui大3A 7、溅射电压：100V-1000V 8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线： 10、水冷却：水管外径0.25"，流速0.8GPM，进水温度＜20℃ |
招标进度跟踪
2025-11-25
中标通知
2英寸高真空磁控溅射头
2025-11-21
招标公告
2英寸高真空磁控溅射头
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