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ms级前驱体源供应系统

结果-中标通知

广东

发布时间： 2025年11月25日

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竞价结果详细（****）

申购单主题：	ms级前驱体源供应系统	申购单位：	****	申购人：	袁艺
报价类型：	国内含税价	使用币种：	人民币	公示时间：	2025-11-16 19:35:34
申购备注：

设备名称	品牌/厂商	型号	数量	售后服务
ms级前驱体源供应系统	科民电子	TALD-200-MPP-3	1
规格
1.金属源：2路可加热直通源，配置高温快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；2.氧源：1路常温直通源，配置快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶；1路臭氧源，含臭氧发生器，臭氧产量＞10g/h，浓度＞100mg/L3.预留1个金属源接口；4.载气系统：2路N2，高精度质量流量计控制，所有前驱体源管路采用316L EP管路+VCR密封，并具有在线清洗功能；5.本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa﹒L/S；6.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃；7.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m3/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝；8.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个，测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀；9.设备高度≤850mm，以便与真空腔室对接。对接方式：前驱体源管路接入真空腔室底部预留的对接口，真空系统抽气口接入真空腔室底部预留的对接口。10.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化铝，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格；非均匀性测试方法：样品台边缘10mm以外放置至少13个测试片，***中心位置进行膜厚测试。椭偏仪测试片内膜厚最大值、最小值分别记为Tmax、Tmin；非均匀性NU=（Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin）。

中标供应商	单价（元）	初选理由
****	188000	最低价原则

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