关于台阶仪设备采购终止公告

是否接受进口

接受进口

品牌

Bruker布鲁克、KLA科磊、AEP

型号

Dektak XT、P7、Nano Map-LS

技术规格及参数

一、用途
台阶仪主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度,薄膜曲率半径，应力测等测试功能
二、技术要求：
1. 最大扫描长度≥55mm
2. 测试所允许的最大样品厚度≥50mm
3. 垂直方向的扫描范围≥1000um（范围大适用不同样品）
4. 测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）
5. 测试垂直分辨率≤0.1nm
6.光学系统：彩色CCD 180x放大倍率
7. XY移动载物台，X≥100mm行程,Y≥100mm行程；样品台尺寸：4英寸
8. 探针压力：1-15mg能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品
9.系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性
10.提供专用分析软件并终身免费升级
11.多次扫描分析≥30次
12. 仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性
13.单次扫描最大采样点数120,000
14. 标配有快速更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上
15. 仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响
16.计算机配置，最新64位，win7操作系统酷睿i5处理器， 500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅
17. 薄膜应力测量功能
18.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

质保期

1年质保

售后要求

1.运行维护：设备需提供 1年免费上门保修服务，保修期内出现故障，供应商应在 48 小时内响应；保修期后需提供长期维修服务，维修响应时间不超过 72 小时，每年可提供 1 次免费设备巡检与维护指导。 2. 升级更新：支持设备软件系统免费升级，后续若有硬件升级需求，供应商需提供升级方案及合理报价，确保升级后设备兼容性与性能提升。