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[HF20253543]钽酸锂薄膜上的啁啾型谐振器加工成交公告
招标详情
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***********公司企业信息
1.项目名称：钽酸锂薄膜上的啁啾型谐振器加工
2.成交供应商名称：****
3.成交供应商地址：****开发区****路6号2号楼
4.成交金额(折合人民币)：86300元
5.付款方式：服务完成且验收合格后3个工作日之内付合同金额100%。
6.主要成交标的：
| 序号 | 服务内容 | 服务期限 |
| 1 | 提供钽酸锂薄膜衬底，对压电薄膜所在上表面抛光，衬底下表面为磨砂面。 | 合同签订后1个月内 |
| 2 | 设计谐振器的版图，并加工高精度石英掩模版 | 合同签订后1个月内 |
| 3 | 使用光刻和镀膜，在钽酸锂薄膜晶圆表面制备啁啾型谐振器。在谐振器表面制备SiO2绝缘层，使用CMP对绝缘层表面进行抛光 | 合同签订后1个月内 |
| 4 | 使用划片机将制备有谐振器的晶圆划片 | 合同签订后1个月内 |
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2025年11月25日
招标进度跟踪
2025-11-25
中标通知
[HF20253543]钽酸锂薄膜上的啁啾型谐振器加工成交公告
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