首页 /微波等离子体沉积设备（JLU-KC25104）采购公告

微波等离子体沉积设备（JLU-KC25104）采购公告

公告-招标公告

广东 -珠海

发布时间： 2025年11月27日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

微波等离子采购公告

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

微波等离子体沉积设备	****
2025-11-27 09:21:23	2025-12-02 10:00:00
****	货到验收合格办理相关手续后100%付款。

	国内合同签订后20个日历日内
￥730000.00




省市区****研究院产学研示范楼114室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

微波等离子体沉积设备

台

其他真空获得及应用设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

碳方程

TFC-10800D

￥ 730000.00

主要配置包括：微波源、样品台、反应室、偏压系统等 1.微波源 1.1微波功率：2450 MHz 1.2输出功率：1.1-10 KW 连续可调 2.样品台 2.1样品台升降：±15 mm 2.2样品台直径：不小于Φ80mm； 2.3基片测温：红外测温范围300—1400 ℃ 3.反应室 3.1极限真空压力：极限真空度优于1.3 Pa（双级旋片泵） 3.2真空泄漏率：≤0.5×10-10Pa.m3/s。 3.3反应气体：4 路流量控制器（H2、CH4、O2、N2） 3.4工作气压：2 torr—200 torr 4偏压系统 4.1偏压参数：输出电压：0-800 V(空载1000 V) 4.2输出电流：0-8 A 4.3控制精度: 1%，占空比0-99

服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:五年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;原厂工程师安装调试;