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中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司12英寸集成电路生产线项目F16终期验收

审批

广东-深圳-坪山区

发布时间： 2025年11月27日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
914********9728144	刘训峰
胡静梅	省市**区
市坪**社区高芯路18号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****12英寸集成电路生产线项目F16终期验收

2018版本:082-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	省市区市坪****社区高芯路18号
经度:114.35423 纬度: 22.71483	****委员会
	2017-01-24
深环批〔2017〕100004号	****
2022-09-09	****500
8360	****
914********9728144	市**公司
914********174752B	******公司
****1900MA4WL1EC8L	2022-09-15

2025-10-29	2025-11-26
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=51029rYJpi

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

12英寸集成电路芯片4万片/月	12英寸集成电路芯片4万片/月
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

主要工艺为薄膜、扩散、光刻、刻蚀、去胶、离子注入、化学抛光、电化学测试	主要工艺为薄膜、扩散、光刻、刻蚀、去胶、离子注入、化学抛光、电化学测试、EPI
根据发展需求新增EPI工艺

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生产废水主要包括酸碱废水、研磨废水、含氨废水、含氟废水、含铜废水、废气塔治理措施排水、冷却水、纯水制备反冲洗水。项目产生的废水经含氨废水处理系统、研磨废水处理系统、含氟废水处理系统、含铜废水处理系统、综合（中和）废水处理系统、含氨废水回收系统、研磨酸碱废水回收系统处理进入市**处理厂处理后回用。生产废水处理系统工艺有吹脱、混凝、絮凝、沉淀、曝气等；废气主要为有机废气、酸性废气、碱性废气、含砷废气、废水站废气等。厂房酸性废气采用碱液喷淋塔喷淋处理工艺，碱性废气采用酸液喷淋塔喷淋处理工艺，有机废气采用沸石浓缩转轮焚烧转轮+RTO燃烧处理工艺，含砷废气采用干式吸附处理工艺，废水站废气采用碱液喷淋塔处理工艺，各类废气经处理后通过34m以上的排气筒高空排放；固体废物包括危险废物、一般工业固体废物以及生活垃圾。危险废物分类储存，定期交由有资质的危废单位拉运处理；一般工**公司回收利用；生活垃圾交由当地环卫部门统一处理。	增加1套EPI酸性废气治理措施及1根EPI废气排气筒，增加1套碱性废气治理措施及1个碱性废气排气筒；有机废气治理措施风量增加；项目新增排气筒不属于主要排气筒；排气筒高度增高；厂区内8英寸含氟废水与本项目含氟废水混合后部分进入本项目含氟废水处理系统处理，部分进入8英寸含氟废水处理系统处理
新增EPI工艺，新增EPI废气治理措施；根据实际需求新增1套碱性废气治理措施；根据实际需求本项目含氟废水与8英寸项目先混后分

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0	0
60.13	85.08	1585.925	145.21	85.08
9.73	17.85	142.7333	27.58	17.85
0	0	0	0	0
16.92	27.521	222.0295	44.441	27.521
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

含氨废水处理系统、研磨废水处理系统、含氟废水处理系统、含铜废水处理系统、综合（中和）废水处理系统、含氨废水回收系统、研磨\酸碱废水回收系统

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准要求

与一阶段验收一致

正常

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气治理措施（11套，11根排气筒）	**省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二时段二级标准、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的排放标准值	与一阶段验收一致	正常
2	EPI酸性废气治理措施（2套，1根排气筒）	**省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二时段二级标准	新增EPI酸性废气治理措施及1根EPI酸性废气排放口	正常
3	碱性废气治理措施（4套，4根排气筒）	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的排放标准值	新增1套碱性废气治理措施，新增1根碱性废气排气筒，与一阶段验收一致	正常
4	有机废气治理措施（4套，4根排气筒	市地方标准《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/524-2020）、省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二时段二级标准	与一阶段验收一致	正常
5	含砷废气治理措施（6套，1根排气筒）	市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二时段二级标准	与一阶段验收一致	正常

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔声门窗、橡胶隔震垫隔震等

厂区北侧临锦绣西路执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的4类标准，其他面执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准

隔声门窗、橡胶隔震垫隔震等

正常

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

根据国家现行相关规范加强环境管理，采取防止和降低污染物跑、冒、滴、漏的措施。正常生产过程中应加强巡检及时处理污染物跑、冒、滴、漏，同时应加强对防渗工程的检查，若发现防渗密封材料老化或损坏，应及时维修更换；对工艺、管道、设备、污水储存及处理构筑物采取控制措施，防止污染物的跑、冒、滴、漏，将污染物泄漏的环境风险事故降到最低限度

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

危险废物分类储存，定期交由有资质的危废单位拉运处理；一般工****公司回收利用；生活垃圾交由当地环卫部门统一处理

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

采取有毒有害气体工程控制措施、危险化学品工程控制措施、废水工程控制措施、化学品及危险废物运输控制措施，加强对全体员工防范事故风险能力的培训

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程