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深圳大学 - 竞价结果公告（CB105902025001165）
招标详情
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***********公司企业信息
**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2025-11-28 17:24:23
申购单号： ****
申购主题： 碳化硅表面原子级层沉积与分析系统
采购单位： ****
竞价开始时间： 2025-11-20 15:28:28
竞价截至时间： 2025-11-28 12:00:00
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 189000.00
送货时间： 合同签订后7个日历日内交货，产品如有附件、备品备件及专用工具应随产品一同交付
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 碳化硅表面原子级层沉积与分析系统 | **科民 | 190000.00 | 189000.00 | (1) 质保期限为1年；(2) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在72小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(3) 其他：自验收合格之日起计算，质保期为壹年。质保期内乙方服务须及时有效，在接到甲方售后需求时立即响应，并按质量保证期的承诺免费修理或更换故障设备或零部件。公司根据客户反馈和实际应用情况三年内免费更新升级，终身维护。如在规定时间内不能解决设备故障，提供同型号的设备给购方替用，所产生费用由乙方承担。质保期期满后，乙方有义务继续帮助甲方进行维护维修，所产生费用按成本由甲方承担。因维修服务导致甲方在维修期内无法使用仪器设备，质保期相应**与维修期相同的时间 | 1.腔室结构：外热式单腔腔室、样品台可放下最大6 英寸晶圆、反应温度：最高150℃, 温度控制精度±1℃; 2．前驱体源系统：2 路标准加热液态前驱体源，配置swagelok 高温快速ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml 不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃, 控制精度±1℃; 1 路常温源，配置swagelok 快速ALD 阀（响应时间＜10ms）、手动阀、 50ml 不锈钢源瓶；含两路载气系统，全套swagelok 管路+VCR 密封，前驱体源管路具有在线清洗功能。 3．真空系统：整机极限真空＜5×10-2Torr ，真空漏率＜5×10-7 Pa ﹒L/S；腔室抽气管路配有加热套，加热温度最高150℃;配置机械泵，额定抽速≥60m3/h；真空泵前级配置热阱，加热温度最高500℃, 用于吸附、分解未反应的前驱体源；真空测量配置双真空计,真空计前设有保护真空计的高效过滤网以 及气动隔膜阀； 4.主机：高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，满足高精度表面原子级研究需求；可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数； 5.技术指标：在直径6英寸晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300 循环氧化锡，以晶圆上至少9 个均匀分散点进行膜厚测试， 膜厚非均匀≤±2%为合格 | 1.0 | TALD-150 | 189000.00 | **** |
招标进度跟踪
2025-11-28
中标通知
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2025-11-20
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