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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0200MA2AFL8H97 | 建设单位法人:王顺波 |
| 黄小龙 | 建设单位所在行政区划:**省**市**市 |
| **省****意**生态园**大道60号 |
| 年产26亿块通信用**度集成电路及模块封装项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点: | **省**市**市 中意**生态园**大道60号 |
| 经度:121.00976 纬度: 30.24401 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-08-26 |
| 甬环建表〔2024〕26号 | 本工程排污许可证编号:****0200MA2AFL8H97001X |
| 2025-07-10 | 项目实际总投资(万元):79172 |
| 810 | 运营单位名称:**** |
| ****0200MA2AFL8H97 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| ****0200MA2AFL8H97 | 验收监测单位:******公司 |
| ****0203MA2KNHG10B | 竣工时间:2025-07-01 |
| 2025-07-01 | 调试结束时间:2025-12-01 |
| 2025-11-03 | 验收报告公开结束时间:2025-11-28 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.net/view-****002-****841********8992.html |
| 改扩建项目 | 实际建设情况:改扩建项目 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 本项目选址位于****意**生态园**大道60号的现有厂区(租赁于甬矽半导体****公司)内,项目总投资82859万元。项目****公司位于兴舜路22号厂区18亿块/年QFN的产能及其对应的生产设备(含两条全自动镀锡线)搬迁至**大道厂区,同时继续购入全自动贴膜机、全自动磨片机、全自动镀锡线(一条)、全自动除胶机等设备,以进一步提升产品产能,项目建成后可形成年产26亿块QFN、QFP和BGA的生产能力,****公司4条全自动镀锡线均位于**大道厂区,兴舜路厂区内将不再有电镀工艺和设备。项目污水处理以及其他公辅需求继续依托甬矽半导体的现有设施。 ****公司内产品自行配套服务,不得承接对外加工业务。 | 实际建设情况:项目租赁甬矽半****公司闲置的厂房进行建设,位于****意**生态园**大道60号。项目实际总投资79172万元,主要设备种类与环评一致,同时依托甬矽半****处理站以及其他公辅设施。兴舜路厂区内已不再有电镀工艺和设备项目,公司4条全自动镀锡线均位于**大道厂区,项目已具备年产26亿块QFN、QFP和BGA的生产能力。****公司自有产品配套电镀,不承接对外电镀加工业务。 |
| 仅在设备方面存在一定的变动,具体为①由于部分设备实际操作效率较高或更换了更高生产效率的型号,故烤箱减少了17台;②为提高生产车间晶圆流转和输送的工作效率和流畅性,增加了15台全自动装片机、13台L/S编带一体机、4台测编一体分选机作为晶圆中转和转运设备;③为防止设备出现故障而影响生产效率,对部分易损的生产设备增加了备用机,分别增加了156台(约原有总数的10%作为备用量)全自动球焊机作为备用机使用,增加了1台全自动预贴膜机、2台激光打印机、3台全自动晶圆划片机、2台全自动外观检查机、1台测试机作为备用机使用。④为提高产品的检测和实验效果,新增了若干实验测试分析仪和设备(均为不使用药剂的设备,仅为物理功能检测)来提升实验测试的效率。但本次项目生产能力未增大、单位产品污染物产生处置量未增大,各类化学品存储存能力未增大不涉及重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| 主要生产工艺为中测、贴膜、磨划、装片固化、等离子清洗、球焊、塑封、除胶、电镀上锡、打印、成型、切割、蚀刻、表层剥离、检验包装等。 | 实际建设情况:主要生产工艺为中测、贴膜、磨划、装片固化、等离子清洗、球焊、塑封、除胶、电镀上锡、打印、成型、切割、蚀刻、表层剥离、检验包装等。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 加强废水污染防治,厂区实施雨污分流,车间干湿分离,湿区地面敷设网格板,并对湿区废水(液)进行收集,生产作业地面、池壁、管沟均须采用相应的防腐防渗工艺处理,排污管道按明管套明沟或架空敷设形式。企业污水处理依托甬矽半导体现有污水站。按照“分类收集、分质处理”原则,企业废水分为镀锡废水(进入含铜废水系统)、有机废水、一般废水3股分质纳入污水站相应污水预处理系统(含中水回用系统),分别经各自预处理设施处理后,处理出水再通过各自中水回用系统处理后**进入超纯水系统,浓水分综合浓水和电镀浓水两股分别经深度处理达到《****环境局关于甬矽半****公司高端集成电路封装测试二期(一阶段)项目环境影响报告表的审查意见》(甬环建表〔2022〕17号)的水质要求后纳管排****处理厂。该污水站一般废水设计中水回用率75%,电镀废水、有机废水设计中水回用率均为65%。加强废气污染防治。企业生产区均为洁净设计,生产设备均密闭设置,运行时采用密闭隔离、局部排风、就近捕集。项目电镀废气和车间换气处理依托现有碱性洗涤塔和排气筒(各1套),生产线中装片固化、塑封、去胶、打印等工序废气收集经过一套水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后达标排放(依托现有设施,并新增一套同规格的处理设施并联使用),A7厂房测试废气收集经过一套水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后排放,实验室废气收集后经过一套水洗塔处理后达标排放,项目排气筒高度均为30米。企业应按照我市相关要求对废气碱液喷淋装置安装联网pH监控和用电监控系统。项目电镀废气排放须达到《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)中表5、表6中标准限值;由于封装过程其他废气通过同一套处理设施处理后经同一根排气筒排放,该废气中的非甲烷总烃排放从严执行《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)“**企业执行表5规定的大气污染物特别排放限值”,废气中的锡及其化合物、测试废气、实验室废气和电镀车间换气执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)“新污染源大气污染物排放限值”二级标准;各种废气中的臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93);挥发性有机物无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)。按环评要求落实污染防治措施减少废气无组织排放,确保项目各污染物厂界无组织排放监控浓度符合国家规定允许标准值。加强噪声污染防治。优先选用低噪声设备,对高噪声设备应落实隔声,吸声、减振等工程措施。加强厂区绿化进一步提高厂区声环境质量,确保项目厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)厂界外相应声环境功能区的排放限值。加强固废污染防治。按照“减量化、**化、无害化”的固废处置原则,****生态环境厅《关于做好(国家危险废物名录》(2021版)实施工作的通知》(浙环函[2020]297号)的要求,对产生的各类固废进行分类收集、贮存、处置,提高综合利用率。项目产生的边角料、阳极残料等一般工业固废**化利用;蚀刻废液、废活性炭等为危险废物,各类危废须按规范送有资质单位安全处置。工业固废转移应严格执行转移联单制度。按工业固废污染防治要求建设一般工业固废和危废暂存间。同时按照《**省固体废物污染环境防治条例》的要求,安装视频监控系统并与省固体废物治理系统联网。 | 实际建设情况:厂区已完成雨污分流工作,电镀车间设置了干湿分离,电镀线下方设有的托盘,可对废水(液)进行收集。生产作业地面、池壁、管沟均采用相应的防腐防渗工艺处理,排污管道采用了架空敷设形式。污水处理依托甬矽半导体现有污水站。生产废水按照要求分为一般废水、有机废水、电镀废水3路,分别经各自预处理设施处理后,再超滤、紫外杀菌、RO膜反渗透处理后**进入中水回用系统,浓水分综合浓水和电镀浓水再经深度处理达标后纳管排放进****处理厂进一步处理。根据验收监测数据和在线监测内容,废水各监测点位的数据均可满足相应的排放标准。根据实际水平衡图,回用率满足相应的设计要求。企业生产区均为洁净设计,生产设备均密闭设置,运行时采用密闭隔离、局部排风、就近捕集。企业目前共设置了5套废气处理系统,项目电镀废气和车间换气处理依托现有碱性洗涤塔和排气筒(各1套),生产线中装片固化、塑封、去胶、打印等工序废气收集经过一套水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后达标排放(依托现有设施,并新增一套同规格的处理设施并联使用),A7厂房测试废气收集经过一套水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后排放,实验室废气收集后经过一套水洗塔处理后达标排放。废气碱液喷淋装置已安装联网监控和用电监控系统。根据验收监测数据,废气各监测点位的数据均可满足相应的排放标准。已按环评要求落实污染防治措施减少废气无组织排放,项目各污染物厂界无组织排放监控浓度符合国家规定允许标准值。选用了低噪声设备,对高噪声设备采用隔声,吸声、减振等工程措施,同时厂区进行了绿化工作,根据验收监测结果可知厂界噪声能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准。一般工业固废依托甬矽半导体现有的一般固废仓库,已按工业固废污染防治要求建设了独立的危废暂存间,在危废暂存间安装了视频监控系统并具备了与省固体废物治理系统联网的能力。本项目一般固废外售综合利用;危险废物在厂区内危废仓库暂存后定期委托****安全处置。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 项目建设必须严格按照《电镀行业清洁生产评价指标体系》及《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)要求做好清洁生产,电镀生产线采取全自动控制、多级回收、逆流漂洗、在线槽边回收、末端中水回用等措施,确保项目主要原材料消耗、污染物排放总量等指标达到同类工程国内清洁生产先进水平。各项环保设施设计应经科学论证,确保稳定达标排放。落实污染物排放总量控制措施。项目实施后主要污染物的总量控制指标为:VOC排放量4.897吨/年、COD排放量62.418吨/年、氨氮排放量4.383吨/年。新增主要污染物:VOC排放量1.962吨/年、COD排放量26.647吨/年、氨氨排放量1.897吨/年。其中新增VOC****分局调剂,其它污染物指标通过排污权交易取得。加强日常生态环保管理和环境风险防范与应急。对照《关于加****管理部门联动工作的通知》(甬环发〔2021〕8号)、《关于进一步建立健全环保设施安全管理联动机制的通知》(甬应急〔2023〕22号)等文件要求,企业应落实环保设施安全生产要求,委托有相应资质的设计单位对重点环保设施进行设计。开展安全风险评估和隐患排查治理,建立健全安全管控台账资料。本项目涉及危险废物、硫酸铜等重点环境风险源,须切实加强项目建设从设计、施工、储存、使用全过程环境风险管理。严格按照《环评报告表》要求落实风险事故防范对策措施,事故应急依托厂区内现有的一个2662.5m3应急水池,编制应急预案并定期演练,有效防范因污染事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险,确保周边环境安全。完善的企业自行环境监测制度。在纯水制备、废水纳管、中水回用等设施的进、出水各条管路须安装计量装置并记录台账;按照国家和地方有关规定设置规范的污染物排放口,安装在线监控装置,并与生态环境部门联网;雨水排放口须安装pH在线监控装置,并与生态环境部门联网。按项目自行监测要求开展自行监测工作。 | 实际建设情况:选用先进的自动化生产设备和生产工艺。可满足同类工程国内清洁生产先进水平。电镀生产区设置在了二楼,釆取全自动控制、配有逆流漂洗、喷淋清洗等,同时依托的污水处理设施设有中水回用系统,废气废水环保设施均由有资质的单位设计,根据验收监测数据,可做到达标排放。根据验收监测数据,VOCs、COD、氨氨排放量均未超环评审批量。企业新增污染物已完成了排污权有偿使用。企业依托厂区现有的应急事故水池(容积为2662.5m3),企业针对**大道厂区已编制环境应急预案并报所在地环保部门备案(备案号330281-2025-093-L)。企业内部已建立安全管控台账。项目建设从设计、施工、储存、使用全过程都进行了环境风险管理。企业内部已制定了企业自行环境监测制度。已安装其他废水和电镀废水在线流量、pH、COD监测监控设施,雨水排放口安装了pH在线监控装置,并与生态环境部门联网。在纯水制备、废水纳管、中水回用等设施的进、出水须安装了计量装置,并进行了记录,根据实际水平衡图数据,企业电镀废水、一般废水、有机废水回用率均满足相应的要求。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 74.021 | 78.066 | 136.402 | 29.059 | 0 | 123.028 | 49.007 | |
| 29.609 | 31.226 | 54.561 | 11.624 | 0 | 49.211 | 19.602 | |
| 2.097 | 2.212 | 3.865 | 0.823 | 0 | 3.486 | 1.389 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
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| 2.9347 | 1.584 | 4.897 | 0.541 | 0 | 3.978 | 1.043 | / |
| 1 | 生活污水处理设施 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准(氨氮、总磷达到《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)) | 化粪池 | 2025年07月31日、2025年08月01日已监测 | |
| 2 | 电镀废水处理设施 | 《电镀水污染物排放标准》(DB33/ 2260-2020)、《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)、《**污水综合排放标准》(DB31/199-2018) | 电镀含锡废水和表层剥离废水依托甬矽半****公司污水站的含铜电镀废水预处理系统(废水处理设施处理能力80t/h)进行预处理后再由生化系统进一步处理,通过UF超滤+UV+RO反渗透的方法进行回收处理,电镀废水回用率可达65%,电镀废水回用后的浓水再经化混处理达标后,由甬矽半****公司的电镀废水排放口最终外排市政污水管网。 | 2025年07月31日、2025年08月01日已监测 | |
| 3 | 综合生产废水处理设施 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013) | 研磨废水、切割废水进入甬矽半导体厂区污水站的一般废水处理系统处理(废水处理设施处理能力280t/h),通过过滤器+UF超滤+RO反渗透的方法进行回收处理,回用率75%,浓水进入浓排废水处理系统和综合废水酸碱中和系统。去胶废水、蚀刻废水、超声波清洗废水进入甬矽半****公司污水站的有机废水处理系统(废水处理设施处理能力180t/h)经化混处理后进入生化系统,再通过UF超滤+UV+RO反渗透的方法进行回收处理,回用率65%,浓水进入浓排废水处理系统和综合废水酸碱中和系统继续处理。喷淋废水进入浓排废水处理系统和综合废水酸碱中和系统处理。纯水制作产生的浓水、初期雨水直接通过综合废水酸碱中和系统处理,上述废水经过废水处理系统处理达标后排入甬矽半****公司的综合废水排放口,最终外排市政污水管网,****处理厂处理达标后排放。 | 2025年07月31日、2025年08月01日已监测 |
| 1 | A3厂房电镀生产废气处理系统 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | 通过集气捕集+电镀线封闭,收集后通过碱性洗涤塔+30m排气筒处理(一用一备) | 2025年09月11日~ 2025年09月12日已监测 | |
| 2 | A3厂房电镀车间环境排气洗涤塔处理设施 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | 车间整体抽风后经过碱性洗涤塔处理后由30米高排气筒排放(一用一备) | 2025年09月11日~2025年09月12日已监测 | |
| 3 | A3厂房有机废气处理系统1 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)、《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)(含2024年修改单) | 收集经过水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后由30米高排气筒排放 | 2025年07月29日、07月31日已监测 | |
| 4 | A3厂房有机废气处理系统2 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)、《合成树脂工业污染物排放标准》(GB31572-2015)(含2024年修改单) | 收集经过水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后由30米高排气筒排放 | 2025年07月29日、07月31日已监测 | |
| 5 | A6厂房实验室废气洗涤塔处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 收集经过一套水洗塔处理后由30米高排气筒排放 | 2025年07月31日、2025年08月01日已监测 | |
| 6 | A7厂房测试废气处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 收集经过一套水喷淋+去湿+活性炭吸附系统处理后由30米高排气筒排放 | 2025年07月31日、2025年08月01日已监测 |
| 1 | 噪声降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008) | 1)选购低噪声、低振动环保型设备,从源头降低噪声源强; 2)高噪声设备底部安装减振垫。 3)加强设备维护保养,保持其良好的运行效果。 | 2025年07月31日 、2025年08月01日已监测 |
| 1 | 加强固废污染防治。按照“减量化、**化、无害化”的固废处置原则,****生态环境厅《关于做好(国家危险废物名录》(2021版)实施工作的通知》(浙环函[2020]297号)的要求,对产生的各类固废进行分类收集、贮存、处置,提高综合利用率。项目产生的边角料、阳极残料等一般工业固废**化利用;蚀刻废液、废活性炭等为危险废物,各类危废须按规范送有资质单位安全处置。工业固废转移应严格执行转移联单制度。按工业固废污染防治要求建设一般工业固废和危废暂存间。同时按照《**省固体废物污染环境防治条例》的要求,安装视频监控系统并与省固体废物治理系统联网。 | 一般工业固废依托甬矽半导体现有的一般固废仓库,已按工业固废污染防治要求建设了独立的危废暂存间,在危废暂存间安装了视频监控系统并具备了与省固体废物治理系统联网的能力。本项目一般固废外售综合利用;危险废物在厂区内危废仓库暂存后定期委托****安全处置。 |
| 1 | 加强日常生态环保管理和环境风险防范与应急。对照《关于加****管理部门联动工作的通知》(甬环发〔2021〕8号)、《关于进一步建立健全环保设施安全管理联动机制的通知》(甬应急〔2023〕22号)等文件要求,企业应落实环保设施安全生产要求,委托有相应资质的设计单位对重点环保设施进行设计。开展安全风险评估和隐患排查治理,建立健全安全管控台账资料。本项目涉及危险废物、硫酸铜等重点环境风险源,须切实加强项目建设从设计、施工、储存、使用全过程环境风险管理。严格按照《环评报告表》要求落实风险事故防范对策措施,事故应急依托厂区内现有的一个2662.5m3应急水池,编制应急预案并定期演练,有效防范因污染事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险,确保周边环境安全。 | 企业依托厂区现有的应急事故水池(容积为2662.5m3),企业针对**大道厂区已编制环境应急预案并报所在地环保部门备案(备案号330281-2025-093-L)。企业内部已建立安全管控台账。项目建设从设计、施工、储存、使用全过程都进行了环境风险管理。 |
| 项目污水处理以及其他公辅需求继续依托甬矽半导体的现有设施。 | 验收阶段落实情况:项目继续依托甬矽半****处理站以及其他公辅设施。 |
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| 针对兴舜路22号厂区搬迁设备中涉及到两条镀锡线,环境影响报告表中要求需编制《电镀车间拆除活动污染防治方案》。 | 验收阶段落实情况:企业目前已完成拆除工作,根据《关于加强工业企业关停、搬迁及原址场地再开发利用过程中污染防治工作的通知》(环发[2014]66号文)及《企业拆除活动污染防治技术规定(试行)》(公告78号)要求,企业编制了《****拆除活动污染防治方案》和《****拆除活动环境保护工作总结报告》(2025.7.16),已将报告送所在地环保部门留存。 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 加强日常生态环保管理和环境风险防范与应急。完善的企业自行环境监测制度。 | 验收阶段落实情况:为专门负责环境安全事故的应对与处置,企业已建立突发环境污染事故的应急救援组织机构,针对甬矽电子**大道厂区已编制《****(**大道厂区)突发环境事件应急预案修编》并报所在地环保部门备案(备案号330281-2025-093-L)。企业已完成废气排放口规范化及监测设施建设,5套废气处理设施均具备监测平台建设以及设置了标准监测孔。针对地下水污染防治措施,危险废物暂存场所按照《危险废物贮存污染控制标准》进行了建设,暂存场所四周设置收集沟和积液坑,最终可排入厂区事故应急池。厂区地面采用了混凝土硬化,防止跑、冒、滴、漏的物料渗入土壤,进而对地下水环境造成污染。废水收集管道采用架空敷设,本项目生产车间、危化品仓库、化学品仓库、依托的污水站等均铺设防腐防渗地坪,可有效防止废水和渗滤液下渗。 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |