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半导体装备零部件全工艺智能制造生产基地项目（第一阶段）

审批

北京-北京-大兴区

发布时间： 2025年11月29日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0302MA01WC4G1A	郑广文
祝佳	****开发区
****开发区0606街区YZ00-0606-0014-2地块

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

半导体装备零部件全****基地项目（第一阶段）

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	**开发区 **开发区0606街区YZ00-0606-0014-2地块
经度:116.57135 纬度: 39.72224	****开发区行政审批局
	2021-04-27
经环保审字〔2021〕0049号	****
2025-06-27	51000
1672	****
****0302MA01WC4G1A	******公司
911********463630N	******公司
911********463630N	2025-05-28
2025-06-28	2025-07-31
2025-10-29	2025-11-25
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=482622 typeTen=1

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产腔体3000件、内衬4000件、匀气盘5000件、其他机加零部件200000件、实验认证试片2000件等集成电路核心零部件	年产腔体3000件、内衬4000件、匀气盘5000件、其他机加零部件200000件、实验认证试片2000件等集成电路核心零部件
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

主要为加工、化学清洗、阳极氧化、刷镍线、皮膜氧化及试验线等工艺	加工、化学清洗、阳极氧化、刷镍线、皮膜氧化、高洁净手动清洗线及试验线等
本次验收阶段新增部分清洗工艺和精抛工序，且原辅料使用情况变化，但不涉及新增排放污染物种类。精抛工序产生的颗粒物经移动式粉尘净化器收集处理后车间无组织排放，根据本次验收监测结果和“9.3污染物排放总量核算”章节计算结果，本次新增颗粒物无组织排放量未增加10%及以上

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目生产过程中产生的酸碱综合废水须经酸碱综合废水处理系统处理后排放；氢氟酸废水、冷却循环塔排水、酸碱废气喷淋塔排水须经氢氟酸废水处理系统处理后排放；染色废水须经染色废水处理系统处理后排放；脱脂废水须经脱脂废水处理系统处理后排放；含铬废水须经含铬处理系统处理后经零排放处理系统进一步处理后回用；含镍废水须经含镍处理系统处理后经零排放处理系统进一步处理后回用。**处理站废水排放口总铬、六价铬、总镍及企业废水总排放口pH、CODCr、BOD5、SS、氨氮、总氮、总磷（以P计入、氟化物和总锌执行市地方标准《水污染物排放标准》(DB11/307-2013)中的排入公共污水处理系统的水污染物排放限值；企业废水总排放口总铝执行《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)中的企业水污染物排放浓度限值。本项目化学清洗线、电抛及化学镀镍线、阳极氧化线、微弧氧化线、皮膜氧化线及试验线产生的酸性废气须经碱液喷淋系统处理后排放；有机溶剂擦拭产生的有机废气须经活性炭吸附装置处理排放；喷砂和抛光粉尘须经布袋除尘器处理后排放；焊接烟尘须经移动式焊接烟尘净化器处理后排放；机加过程中产生的油雾（非甲烷总烃）须经各自机台的油雾净化器处理后排放；废水处理站废气须经UV光解+活性炭吸附装置进行除臭处理后排放。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》表3(DB11/501-2017)中的第Ⅱ时段排放浓度、速率限值要求。固体废弃物须按照《中华人民国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废酸液、废碱液、废切削液、废化学品容器、废槽渣、**处理站污泥等属于危险废物，须委托有资质的单位进行处置，执行危险废物转移联单制度。危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位须制定危险废物管理计划，报有关部门备案。合理布局，并采取必要的措施确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准。	本项目生产过程中产生的酸碱综合废水经酸碱综合废水处理系统处理后排放进入脱脂废水处理系统进行处理；氢氟酸废水、酸碱废气喷淋塔排水经氢氟酸废水处理系统处理；脱脂废水经脱脂废水处理系统处理；含镍废水经含镍处理系统处理后经零排放处理系统进一步处理后回用，生产废水经各自的废水处理设施处理后，最终进入介质过滤器和重金属痕液吸附系统进行处理。**处理站废水排放口总镍及企业废水总排放口pH、CODCr、BOD5、SS、氨氮、总氮、总磷（以P计入）、氟化物和总锌执行市地方标准《水污染物排放标准》(DB11/307-2013)中的排入公共污水处理系统的水污染物排放限值；企业废水总排放口总铝执行《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)中的企业水污染物排放浓度限值。本项目化学清洗线、刷镍线、阳极氧化线、皮膜氧化线和试验线的酸性废气经碱液喷淋系统处理后排放；有机溶剂擦拭和点胶过程产生的有机废气经二级活性炭吸附装置处理排放；喷砂和抛光粉尘别经2套湿式除尘系统处理后排放；机加过程中产生的油雾（非甲烷总烃）经各自机台的油雾净化器处理后排放；废水处理站废气经UV光解+活性炭吸附装置进行除臭处理后排放；精抛过程产生的颗粒物经移动式粉尘净化器收集处理后车间无组织排放；实验室用砂轮切割机为密闭设备，产生的颗粒物自然沉降后，定期收集处置。废气排放执行《大气污染物综合排放标准》表3(DB11/501-2017)中的第Ⅱ时段排放浓度、速率限值要求。体废弃物按照《中华人民国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废酸液、废碱液、废切削液、废化学品容器、废槽渣、废活性炭、废水处理站污泥和废机油等属于危险废物，委托**进行处置，执行危险废物转移联单制度。危险废物的贮存遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位已制定危险废物管理计划，并于2025年7月29日报有关部门备案。合理布局，并采取设备减振和厂房隔声后对外界影响很小；动力设施中的各废气处理风机进出口进行软连接、加装隔声罩、基础减振；冷却塔选用低噪声设备、加装隔音减振垫、建筑隔声等；空压机、机加设备和喷砂机选用低噪声设备、厂房隔声、加装减振垫等措施确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准。
废水：阳极氧化线的染色工序、皮膜氧化及退镀线中的退镀工序暂不建设，且本次验收无含铬废水产生，因此暂未建设染色废水处理系统和含铬废水处理系统；新增1套介质过滤器和重金属痕液吸附系统进行处理；冷却循环塔排水水质简单，直接排入废水总排口。废气：环评中未提及点胶废气，实际点胶废气和擦拭废气分别收集后合并采用二级活性炭装置处理；喷砂和抛光工序产生的粉尘处理措施由布袋除尘器改为湿式除尘系统，同时新增1套湿式除尘系统和1根25m高的排气筒；环评中未提及精抛工序，实际精抛工序产生的颗粒物经移动式粉尘净化器收集处理后车间无组织排放；新增实验室用砂轮切割机，产生的颗粒物自然沉降后收集处置。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

7.6053	0	7.605	7.605
5.32	11.31	5.32	5.32
0.55	0.77	0.55	0.55
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.055	1.927	0.055	0.055	/
0.022	0.471	0.022	0.022	/
0.0865	1.081	0.086	0.086	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

废水处理站

**市《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）

本项目产生的废水主要包括生活污水和生产废水。生活污水主要为厂区职工的生活污水，经化粪池、隔油池处理后排入总排口；生产废水主要包括表面处理工艺排水、酸性废气处理系统排水、冷却循环塔排水和纯水制备排水。其中表面处理工艺排水和酸性废气处****处理站处理后排入总排口，冷却循环塔排水和纯水制备排水排入总排口。废水总排口1个，位于厂区南侧。含镍废水进入含镍废水处理系统处理后，再进入含镍废水零排放系统处理，处理后的含镍废水经零排放系统蒸发结晶后以污泥形式作为危废处置，蒸发结晶后的冷凝水回用于生产，不外排。

验收监测期间，本项目第一阶段废水总排口中pH值、化学需氧量、五日生化需氧量、氨氮、悬浮物、总锌、总氮、总磷、氟化物的排放浓度均满足**市《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）中“表3排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”要求；总铝的排放浓度满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）中的相关要求；废水处理站零排放系统出水口中总镍的排放浓度满足**市《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）中“表3排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

酸性废气洗涤塔、二级活性炭处理装置、湿式除尘系统、UV光解除臭+活性炭吸附系统、油雾净化器、移动式粉尘净化器等

**市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）

本项目一阶段涉及6个排气筒（DA002—DA007）。化学清洗线、刷镍线、阳极氧化线和试验线产生的碱雾、氮氧化物、氟化物、氯化氢和硫酸雾经1套酸性废气洗涤塔处理达标后通过35m高的排气筒（DA002）排放；皮膜氧化线产生的碱雾、氮氧化物和硫酸雾经1套酸性废气洗涤塔处理达标后通过35m高的排气筒（DA003）排放；有机溶剂擦拭和点胶过程产生的非甲烷总烃收集后经1套二级活性炭处理装置处理达标后通过25m高的排气筒（DA004）排放；部分喷砂工序产生的粉尘经1套湿式除尘系统处理达标后通过25m高的排气筒（DA005）排放；抛光工序和部分喷砂工序产生的粉尘经1套湿式除尘系统处理达标后通过25m高的排气筒（DA006）排放；废水处理站产生的氨、硫化氢和臭气浓度，经UV光解除臭+活性炭吸附系统进行除臭处理达标后通过20m高排气筒（DA007）排放；机加工车间机加工过程产生的油雾由机床配套油雾净化器收集处理、精抛过程产生的颗粒物经移动式粉尘净化器收集处理后车间无组织排放；实验室用砂轮切割机为密闭设备，产生的颗粒物自然沉降后收集处置。

验收监测期间，有组织废气污染物排放浓度和排放速率均满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）标准限值，无组织废气污染物排放浓度满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）标准限值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

合理布局、墙体隔声、基础减振等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）

本项目生产设备均布置于密闭厂房内，动力设施中的各废气处理风机进出风口进行软连接、加装隔声罩、基础减振；冷却塔选用低噪声设备、加装隔音减振垫、建筑隔声等；空压机、机加设备和喷砂机选用低噪声设备、厂房隔声、加装减振垫等。

验收监测期间，本项目厂界噪声监测结果满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中3类标准限值要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

设置地下水监测井

验收监测期间，本项目设置1座地下水监测井，地下水监测点位的各检测因子均满足《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）III类水质标准限值的要求。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废弃物须按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废酸液、废碱液、废切削液、废化学品容器、废槽渣、****处理站污泥等属于危险废物，须委托有资质的单位进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位须制定危险废物管理计划，报有关部门备案。

固体废弃物按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废酸液、废碱液、废切削液、废化学品容器、废槽渣、废活性炭、废水处理站污泥和废机油等属于危险废物，委托****进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位已制定危险废物管理计划，并于2025年7月29日报有关部门备案。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程