关于昊华气体有限公司半导体用刻蚀气体项目环境影响报告书的批复

洛环审〔2025〕32号

****环境局

关于****半导体用刻蚀气体

项目环境影响报告书的批复

****：

你公司（统一社会信用代码：****0300MA9FGM7H89）委托****编制的《****半导体用刻蚀气项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》）、专家技术评审意见、**分局初审意见及总量意见收悉，根据《中华人民**国环境保护法》《中华人民**国行政许可法》《中华人民**国环境影响评价法》《建设项目环境保护管理条例》等法律法规规定，经研究，批复如下：

一、该项目位于******开发区石化园区，拟利用厂区内原三氟化氮一期精品场地及现有配套公用工程、辅助生产设施，建设1440吨/年半导体用刻蚀气项目，主要设备包括脱重塔、脱轻塔、洁净充装系统等。项目总投资13527万元，环保投资240万元。

二、《报告书》内容符合国家有关法律法规要求和建设项目环境管理规定，评价结论可信。我局批准该《报告书》，****公司按照《报告书》中所列项目的性质、规模、地点和环境保护对策措施进行建设。

三、你公司应向社会公众主动公开经批准的《报告书》，并接受相关方的垂询。

四、你公司应全面落实《报告书》提出的各项环境保护措施，各项环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用，确保各项污染物达标排放。

（一）向设计单位提供《报告书》和本批复文件，确保项目设计符合环境保护设计规范要求，落实防治环境污染和生态破坏的措施。

（二）依据《报告书》和本批复文件，对项目建设过程中产生的废气、废水、固体废物等采取相应的污染防治措施。

（三）项目运行时，外排污染物应满足以下要求：

1．废气。按《报告书》要求，配套建设各项废气污染治理设施，做到稳定达标排放。本项目电子级溴化氢装置产生的含溴化氢废气采用“尾气捕集器（冷凝）+水洗+碱洗+酸雾吸收塔处理”；三氟化硼装置产生的含氟（无机）废气采用“尾气捕集器（冷凝）+碱洗+酸雾吸收塔”处理；氟碳类电子气体生产装置产生有机废气和氟化物（有机）采取“尾气捕集器（冷凝）+活性炭吸附装置处理+酸雾吸收塔”；分析检测废气采用“活性炭吸附装置+酸雾吸收塔”处理；运营过程中企业按照相关要求，开展泄漏检测与修复工作。上述废气排放应满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996） 要求、《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）及修改单特别排放限值要求。

2. 废水。项目产生的地面冲****处理站进行处理，生活污水经厂区一体化生活污水处理设施处理后与循环水系统、纯水系统等产生的排污水，经厂区总排口排入******公司进一步处理，总排口水质满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《化工行业水污染物间接排放标准》（DB41/1135-2016）、《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）及修改单和******公司与****签订的工业废水处理服务协议中进水水质要求。

3．噪声。采取有效减振降噪措施，确保厂界噪声达标。

4. 固废。项目固废应全部妥善处理或综合利用，危险废物应按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行管理，定期委托有资质单位处置，并严格执行危险废物储存、转移的相关要求，避免对环境造成二次污染。

（四）严格落实《报告书》提出的监测计划，设置排污口标志，定期对废气、废水、地下水、噪声、土壤等进行监测，发现问题及时采取措施。

（五）该项目新增主要污染物控制指标为：VOCs 0.7556吨/年；化学需氧量0.2220吨/年（其中工业0.2088吨/年、生活0.0132吨/年），生活氨氮0.0007吨/年。新增大气污染物排放量从**省****公司12万吨合成氨项目中倍量调配，其调配量别为1.5112吨/年；新增废水污染物排放量从****公司扩建项目总量中予以等量调配，调配量为：化学需氧量0.2220吨/年（其中工业0.2088吨/年、生活0.0132吨/年），生活氨氮0.0007吨/年。

（六）如果今后国家或我省颁布污染物排放的新标准，****公司应按新的排放标准执行。

五、该项目涉及发改、国土和规划、林业、应急、文物保护等事项，以相应行政主管部门的意见为准。

六、认真落实《报告书》提出的环境风险防范措施和要求，与开发区的风险防控和应急事故处理联动；制定本项目突发环境事件应急预案，并定期演练，防止污染事故发生。

七、该项目在建设过程中，应严格执行环保“三同时”制度，项目建设完成后，须按规定程序实施竣工环境保护验收。

八、本批复有效期为5年，如果该项目逾期方开工建设，其环境影响报告书应重新报批。如建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动，应当重新报批建设项目的环境影响报告书。

九、**分局负责本项目日常环境监督管理工作，监督项目环保“三同时”的落实。你单位应在收到本批复的5个工作日内，将批准后的环境影响报告书送至上述单位，按规定接受生态环境部门日常监督检查。

2025年12月1日

抄送：****环境局水生态环境科、大气环境和移动源污染监督科、土壤和固体废物与化学品科，**市生态****支队、****中心、****中心，**分局

公告期限：自本公告发布之日起7日。

行政复议与行政诉讼权利告知：依据《中华人民**国行政复议法》和《中华人民**国行政诉讼法》，公民、

法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的，可以自公告期限

届满之日起六十日内提起行政复议，也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼。

联系地址：**市老**九都路328****环境局

邮编：471000

联系电话：0379-****1042