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| 台式高质量离子溅射仪 | 3.0/台(套) | 速普 | Mini Coater | 1. 真空泵:高性能旋片泵 2. 抽速:≥4m3/h 3. 普通工作气压:4-10Pa,恒压控制;极限真空≤1Pa 4. 抽真空时间:<2 Min 5. 真空规:皮拉尼真空计 6. ★数显样品台:50mm旋转偏转样品台,旋转转速:10-60RPM连续可调,偏转角度:± 30°连续可调,靶基距40-60mm连续可调 7. ★磁控溅射靶:靶材尺寸50mm 8. ★溅射电源:恒功率DC溅射电源Max.20W,Max.100mA,0-800V 9. 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能 10. 重量:主机≤21kg 11. 尺寸:≤260mm宽*400mm深*330mm高 12. 电源要求:100-220V AC,50/60Hz接地三脚插头 13. 配置要求:设备主机需包含真空油泵、旋转样品台、过滤器各1套;Ф50mm金靶材1块。 | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |