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台式微纳结构高速直写系统
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1190000.00
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***********公司企业信息
****2025年12至5月政府采购意向-台式微纳结构高速直写系统 详细情况
| 台式微纳结构高速直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年12至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 台式微纳结构高速直写系统 |
| 预算金额： | 119.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
采购台式微纳结构高速直写系统1套；主要用途是主要用于光电信息、微纳光学、光计算、光电集成及光子芯片等方向的微纳结构加工与器件制备。直写分辨率：0.6μm，1.0μm和5.0μm三种分辨模式，且不同分辨率模式可通过软件自动切换，无需人工手动切换，可原位升级添加2.0μm分辨率模式；最快直写速度（mm2/min）：****@0.6μm，50@1μm，180@5μm；对准及套刻精度：≤±0.5um；灰度直写等级：255级;光源波长：405nm，后续可原位升级365和405nm波长双光源；载物台无需真空吸附，最大基片尺寸不低于155mm直径,最大基片厚度不低于7mm；最大加工区域：149mm×149mm，无最小尺寸限制,可加工一百微米以内的样品；配备X、Y、Z三维直流线性位移电机，XY步进精度≤100nm；X/Y轴最大行程不低于149mm，Z轴最大行程不低于7mm；集成光学显微镜系统，放大倍数分别为：×3/×10/×20，3种放大倍数可通过软件自动切换；软件界面额外的×4数码变焦可选；配有光学轮廓探测系统，可进行二维成像，Z向分辨率≤200nm。所有硬件1年免费保修、软件免费保修升级.
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| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-03
2026-01-15
2025-12-04
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