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| 真空高低温探针台 | 1.0/台 | 新诺梦达 | PXV-Q | ● 标配温度范围:-190~400℃ ● 升温速率最快20度/min,降温速率最快10度/min ● 温度分辨率及稳定性:± 0.1℃ ● 高精度温度控制器和温控软件(可编程) ● 控温方式:PID闭循环控制 ● 温度传感器及数量:PT100,1 个 ● 致冷方式:液氮(泵控制),含2L小液氮罐 ● 标配4个探针臂,XZ行程:12mm*12mm,移动精度±2um,配置真空中用三同轴接口;1.5米三同轴线4根,漏电流100fA以内 ● Y轴行程50mm+12mm,粗调精度5um,微调精度±2um ● 载样台材质及尺寸:紫铜镀镍,40*40mm ● 配置光学观察孔 φ25mm(以实际尺寸为准) ● 腔体真空度:5×10^-1Pa 可充入保护气氛(氮气);兼容分子泵高真空度,系统极限真空优于 10^-5Torr ● 预留冷水机接口,用于腔体外壳冷却 ● 真空状态下液氮温度测试无结水结霜情况 ● 整机**联保,保修 12 个月 | 按行业标准提供服务 |