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| 1 | 等离子处理机 | 设备及软件/机械设备 | 型号/件号:****工作室尺寸):不小于450mm×450mm×500mm; 真空腔体真空度:90s时间内压升15Pa以内 工作真空度:20~60Pa 真空泵极限压力:4.0×10-1Pa 等离子发生器:射频发生器+匹配器,输出功率0~200W、频率13.56MHz; 射频(RF)功率稳定性:输出功率波动范围≤±3% 等离子发生气体:氩气、氧气和氦气 气体流量与组分控制:流量控制器精度≤±1% F.S 等离子体均匀性:通过在处理区域多点处理材料表面张力的均匀性,差异应<15% 表面处理效果:通过接触角仪检测样品表面润湿性变化(接触角≤20°) 设备接地、漏电保护及真空报警功能,连续运行8小时无异常 | 1台 | 一次性交货 |