首页 /反应磁控溅射镀膜设备采购公告

反应磁控溅射镀膜设备采购公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年12月09日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

磁控溅射镀膜设备采购公告

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

申购单主题：	反应磁控溅射镀膜设备	申购单位：	****
申购备注：	1、投标供应商资格要求：投标供应商符合《****政府采购法》第二十二条规定；2、投标供应商除满足上述要求外，还必须符合法律、行政法规规定与本项目相关的其他资格条件，由投标供应商出具满足资格响应的相关承诺函。3、投标供应商的报价响应除满足项目需求表列出的需求之外，同时响应满足国家法律法规规定的与本项目相关的强制要求。

商品名称	品牌	型号	数量	报价类型
反应磁控溅射镀膜设备	不指定品牌	不指定型号	1	国内含税价/人民币
售后服务	详见《项目需求表》
规格	1、真空系统：系统的极限压强≤5x10-4 Pa，真空抽速（洁净腔体），从大气抽到5*10-3 Pa的时间≤20分钟。 2、靶枪模块：靶枪模块至少含3只溅射阴极，同时带自动挡板设置，根据工艺需求独立控制开启，靶枪采用水冷，磁路模块需要可更换。 3、气体控制：至少支持2路工作气体，气体质量流量计控制精度应优于±1%。