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半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）

结果-中标通知

广东

发布时间： 2025年12月18日

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

代理单位

代理单位联系人

关键信息

半导体研发服务平台工艺

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

采购状态

确认评审结果

采购计划信息

申报计划月份：

2024年3月份

计划编号：

****

申报部门：

****学院

填表人：

填表时间：

2025-10-31

采购项目信息

采购项目(品目)名称：

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）

采购类型：

招标采购

预算：

1,850,000.00 元

采购方式：

公开招标

联系人：

联系电话：

备注：

招标设备信息

设备名称	类别	单价(元)	数量	需求时间
光刻-通风橱（半自动显影台）-二次配系统	实验室设备	74600.00	1 套	2025-11-28
光刻-全自动涂胶显影机-二次配系统	实验室设备	141000.00	1 套	2025-11-28
刻蚀-01-二次配系统	实验室设备	305000.00	1 套	2025-11-28
扩散1灰区--二次配系统	实验室设备	67000.00	1 套	2025-11-28
扩散2-氧化扩散炉02-二次配系统	实验室设备	106000.00	1 套	2025-11-28
刻蚀-02-二次配系统	实验室设备	292300.00	1 套	2025-11-28
光刻-通风橱（手动显影）-二次配系统	实验室设备	66100.00	1 套	2025-11-28
扩散1-低压化学气相沉积系统-二次配系统	实验室设备	370000.00	1 套	2025-11-28
镀膜-等离子体原子层沉积-二次配系统	实验室设备	177000.00	1 套	2025-11-28
光刻-通风橱（匀胶、前烘）-二次配系统	实验室设备	41000.00	1 套	2025-11-28
镀膜-磁控溅射机-二次配系统	实验室设备	100000.00	1 套	2025-11-28
扩散1-氧化扩散炉01-二次配系统	实验室设备	110000.00	1 套	2025-11-28

采购(招标)委托

委托编号：

WT****102498

经费项目名称：

面向行业领域应用的智能检测关键技术,智能伺服电机基础理论与原型器件研制,

经费来源：

发展规划处、****办公室、****研究所,

支出科目代码：

1187-********701,1187-********601,

设备用途：

教学

委托经办人：

联系电话：

方案附件：

招标项目信息
半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批） 198********76481793
	项目招标编号：
	招标采购申请时间：		2025-10-31
	招标采购方式：		公开招标
	总预算（元）：		1,850,000.00
	招标代理机构：		省**公司
	收到初稿时间：		2025-11-03
	招标文件审核时间：		2025-11-17
	招标公告时间：		2025-11-25
	开标时间：		2025-12-16
	子包一
		招标执行信息：	1委托申请 2招标采购申请 3招标文件制作 4招标文件审核 5招标公告 6招标结果公告 7中标通知 8已签合同 9已供货 10已验收 11已付款
		预算（元）：	1,850,000.00
		招标结果：
		招标结果时间：
		投标供应商：
		中标供应商：
中标金额（元）：		0.00
中标联系人：
中标联系人手机：
收到中标通知书时间：
合同号：
签合同时间：
货期（天）：
预付款（元）：			0
应到货时间：
应验收时间：
应付款时间：
上传合同文件：
供货时间：
验收时间：
付款时间：
付款金额（元）：			0
备注：