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FJ-1300F分子泵机组;组合件;中科科仪,详见技术要求
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其他
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件号:25H925-2-1-F01
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1.0
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台
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真空机组的主要技术性能及参数不低于以下要求:1)机组极限真空度:9×10-5Pa(空载)、2)单台分子泵抽气速率(对空气):≥1300 L/S、3)前级泵抽气速率:14 L/S、4)真空计测量范围:1×10 5 Pa ~ 1×10-5 Pa、5)输入电压频率:380V/50Hz、6)冷却方式:风冷等、7)泵上的3个抽空口配置盲法兰。
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