大面积铁电薄膜制备设备

发布时间: 2025年12月19日
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大面积铁电薄膜制备设备
竞价结果公告(****)
开始时间:2025-12-16 12:39:39 截止时间:2025-12-19 12:41:06
成交单位:****
成交价: 245000.000元
说明:各有关当事人对竞价结果有异议的,可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议,逾期将视为无异议,不予受理。
采购单位:****
联系人:樊贞
E-mail:无
联系电话:156****8356
传真:无
联系手机:156****8356
邮编:无
平台联系电话(异议):020-****9972;****@qq.com
项目名称:
大面积铁电薄膜制备设备
竞价编号:****
采购类型:货物类
开始时间:2025-12-16 12:39:39
项目预算(元):248,000.00
结束时间:2025-12-19 12:41:06
质保期及售后要求:1. 质保期:中标人对本合同标的提供1年质保期(费用包含在投标报价中),3年 免费维护保养,对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题 负责,并进行修理、更换零部件或退换,并须对设备出现的有关技术性问题或安全 问题负责处理、解决,同时中标人应相应**被更换货物的质保期,软件提供终身 升级,质保期自货物验收合格之日起计算。质保期内提供现场保修、包换或包退服 务,由此产生的一切费用均由中标人承担。中标人不能修复、调换或不能退货的, 应退回相应货款,并承担相应违约责任。 2.中标人应有专职工程师负责对所售产品安装,调试,培训,维修和处理。质保期 内,在接到系统故障或问题告知后,中标人响应时间不得超过24小时,到达现场 时间不得超过48小时,并应在72小时(前述响应及到达现场时间已包含计算在 内)内排除故障。否则视为中标人不能修复货物。如果需要更换配件的,中标人须 在5个工作日内完成配件更换服务,且更换的配件跟被更换的品牌、类型相一致或 者是同类档次相当或更高的替代品,后者需征得采购人管理人员同意。如果故障在 前述时间内仍无法排除,中标人应无条件在5个工作日内提供不低于故障设备规格 型号档次的备用设备供采购人使用,直至故障设备修复。 3.质保期内,同一硬件一个月内连续2次出现同一故障,中标人应无条件更换性能 指标不低于原规格型号的新部件。严重影响教学工作的,中标人无条件提供不低于 该档次的设备给采购人使用。 4.质保期满后设备维修仅收取配件成本费,不收取上门费及人工费。中标人承诺配 件更换的费用,以不高于市场价格2****学校。 5.培训:中标人负责提供合同标的现场操作、运行、维护、修理的培训方案及必需的 培训资料,并对采购人受训人员进行现场培训直至能熟练操作为止,培训次数不少 于1次,每次培训应配置不少于1个工程师,培训天数应不少于1天,培训期间工 程师的食宿由中标人负责。培训内容应至少包括:设备的操作使用和保养;设备安 全注意事项;设备简易故障排除等。在后期使用过程中,如需增加培训环节,中标 人负责根据采购人需要提供培训服务。以上相关费用已包含在投标报价中。
其他要求:气泵若在10年内损坏,中标人应免费维修或更换。
暂无
响应情况
资格及商务响应情况 项目 竞价要求 响应情况 报价情况 标的名称 生产厂商/品牌、型号规格 数量 响应情况 单价(元/%) 技术响应 标的名称 技术要求 响应情况
资格条件 获得ISO质量管理体系认证证书、环境管理体系认证证书、职业健康安全管理体系认证证书
付款方式 合同签订并收到发票后5个工作日内,支付合同金额的30%;验收通过并收到发票后20个工作日内,支付剩余合同金额。 合同签订并收到发票后5个工作日内,支付合同金额的30%;验收通过并收到发票后20个工作日内,支付剩余合同金额。
交付时间 合同签订后45个工作日内交付 合同签订后45个工作日内交付
履约保证金: 无需履约保证金 无需履约保证金
交付地址 ****大学城校区理5栋533
质保期及售后要求 1. 质保期:中标人对本合同标的提供1年质保期(费用包含在投标报价中),3年 免费维护保养,对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题 负责,并进行修理、更换零部件或退换,并须对设备出现的有关技术性问题或安全 问题负责处理、解决,同时中标人应相应**被更换货物的质保期,软件提供终身 升级,质保期自货物验收合格之日起计算。质保期内提供现场保修、包换或包退服 务,由此产生的一切费用均由中标人承担。中标人不能修复、调换或不能退货的, 应退回相应货款,并承担相应违约责任。 2.中标人应有专职工程师负责对所售产品安装,调试,培训,维修和处理。质保期 内,在接到系统故障或问题告知后,中标人响应时间不得超过24小时,到达现场 时间不得超过48小时,并应在72小时(前述响应及到达现场时间已包含计算在 内)内排除故障。否则视为中标人不能修复货物。如果需要更换配件的,中标人须 在5个工作日内完成配件更换服务,且更换的配件跟被更换的品牌、类型相一致或 者是同类档次相当或更高的替代品,后者需征得采购人管理人员同意。如果故障在 前述时间内仍无法排除,中标人应无条件在5个工作日内提供不低于故障设备规格 型号档次的备用设备供采购人使用,直至故障设备修复。 3.质保期内,同一硬件一个月内连续2次出现同一故障,中标人应无条件更换性能 指标不低于原规格型号的新部件。严重影响教学工作的,中标人无条件提供不低于 该档次的设备给采购人使用。 4.质保期满后设备维修仅收取配件成本费,不收取上门费及人工费。中标人承诺配 件更换的费用,以不高于市场价格2****学校。 5.培训:中标人负责提供合同标的现场操作、运行、维护、修理的培训方案及必需的 培训资料,并对采购人受训人员进行现场培训直至能熟练操作为止,培训次数不少 于1次,每次培训应配置不少于1个工程师,培训天数应不少于1天,培训期间工 程师的食宿由中标人负责。培训内容应至少包括:设备的操作使用和保养;设备安 全注意事项;设备简易故障排除等。在后期使用过程中,如需增加培训环节,中标 人负责根据采购人需要提供培训服务。以上相关费用已包含在投标报价中。 1. 质保期:中标人对本合同标的提供1年质保期(费用包含在投标报价中),3年免费维护保养,对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题负责,并进行修理、更换零部件或退换,并须对设备出现的有关技术性问题或安全问题负责处理、解决,同时中标人应相应**被更换货物的质保期,软件提供终身升级,质保期自货物验收合格之日起计算。质保期内提供现场保修、包换或包退服 务,由此产生的一切费用均由中标人承担。中标人不能修复、调换或不能退货的,应退回相应货款,并承担相应违约责任。 2.中标人应有专职工程师负责对所售产品安装,调试,培训,维修和处理。质保期内,在接到系统故障或问题告知后,中标人响应时间不得超过24小时,到达现场时间不得超过48小时,并应在72小时(前述响应及到达现场时间已包含计算在内)内排除故障。否则视为中标人不能修复货物。如果需要更换配件的,中标人须在5个工作日内完成配件更换服务,且更换的配件跟被更换的品牌、类型相一致或 者是同类档次相当或更高的替代品,后者需征得采购人管理人员同意。如果故障在前述时间内仍无法排除,中标人应无条件在5个工作日内提供不低于故障设备规格型号档次的备用设备供采购人使用,直至故障设备修复。 3.质保期内,同一硬件一个月内连续2次出现同一故障,中标人应无条件更换性能指标不低于原规格型号的新部件。严重影响教学工作的,中标人无条件提供不低于该档次的设备给采购人使用。 4.质保期满后设备维修仅收取配件成本费,不收取上门费及人工费。中标人承诺配件更换的费用,以不高于市场价格2****学校。 5.培训:中标人负责提供合同标的现场操作、运行、维护、修理的培训方案及必需的培训资料,并对采购人受训人员进行现场培训直至能熟练操作为止,培训次数不少于1次,每次培训应配置不少于1个工程师,培训天数应不少于1天,培训期间工程师的食宿由中标人负责。培训内容应至少包括:设备的操作使用和保养;设备安全注意事项;设备简易故障排除等。在后期使用过程中,如需增加培训环节,中标人负责根据采购人需要提供培训服务。以上相关费用已包含在投标报价中。
其他要求: 气泵若在10年内损坏,中标人应免费维修或更换。 气泵若在10年内损坏,中标人应免费维修或更换。
高温磁控溅射镀膜系统 普迪、PD-300C 1.00 普迪、 PD-300C 245000.000元
总报价 245000.000 元
高温磁控溅射镀膜系统 1. 极限真空:≤5×10-5Pa(经烘烤除气后); 2. 抽速测试:从大气抽到工作真空(8×10-4Pa)时间≤25 分 钟(氮气破真空); 3. 系统漏率:≤2x10-8Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考 核); 4. 系统保压:系统抽至高真空后停泵关机保压12 小时后真空 度≤10Pa; 5. 基片加热:衬底最高加热温度≥800℃, 精度≤±1°C; 6. 溅射尺寸:衬底基片最大4 英寸,兼容4 英寸、2 英 寸、Φ45mm、Φ30mm,以及小尺寸方形片(对角线长度小于 45mm)。基片旋转速度:0~30rpm 连续可调; 7. 成膜质量:托盘4 英寸范围内均匀性≤±5%; 8. 优质304 不锈钢真空室,尺寸不小于350mm(宽)× 350mm(深)× 380mm(高),最终以实际设计尺寸为准,内外 部电抛光处理; 9. 底部安装3 套靶枪及挡板转轴,真空室顶部及底部有备用 法兰接口; 10.可拆卸不锈钢内衬; 11.设备带支撑地脚和滚轮; 12.分子泵抽速≥700L/S,机械泵抽速≥6L/S; 13.全量程真空计(量程从大气到3E-9torr); 14.3路进气,流量计最大流量不小于200/100/50sccm; 15.3个2 英寸圆形靶枪;靶枪带一个独立的电控气动挡板; 16.1个直流电源,功率≥500W; 17.2个射频电源,功率≥600W; 18.直径4 英寸工件台,转速0-30RPM 可调节, 转轴磁流体密 封,最高加热温度室温至800 度精度: ±1°C,配备基片挡 板,电控气动。 19. 系统应至少包含以下配置:脂润滑分子、高真空阀门、机械泵、真空计、小阀门、气体质量流量计、自动匹配射频电源、磁控靶枪、直流电源、靶挡板、样品台、恒压控制系统、电气控制系统、循环水机、气泵、薄膜规等。 1. 极限真空:优于5×10-5Pa(经烘烤除气后); 2. 抽速测试:从大气抽到工作真空(8×10-4Pa)时间≤25 分钟(氮气破真空); 3. 系统漏率:≤2x10-8Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核); 4. 系统保压:系统抽至高真空后停泵关机保压12 小时后真空度≤10Pa; 5. 基片加热:衬底最高加热温度800℃, 精度±1°C; 6. 溅射尺寸:衬底基片最大4 英寸,兼容4 英寸、2 英寸、Φ45mm、Φ30mm,以及小尺寸方形片(对角线长度小于45mm)。基片旋转速度:0~30rpm 连续可调; 7. 成膜质量:托盘4 英寸范围内均匀性优于±5%; 8. 优质304 不锈钢真空室,尺寸不小于350mm(宽)×350mm(深)× 380mm(高),最终以实际设计尺寸为准,内外部电抛光处理; 9. 底部安装3 套靶枪及挡板转轴,真空室顶部及底部有备用法兰接口; 10.可拆卸不锈钢内衬; 11.设备带支撑地脚和滚轮; 12.分子泵抽速700L/S,机械泵抽速6L/S; 13.全量程真空计(量程从大气到3E-9torr); 14.3路进气,流量计最大流量不小于200/100/50sccm; 15.3个2 英寸圆形靶枪;靶枪带一个独立的电控气动挡板; 16.1个直流电源,功率500W; 17.2个射频电源,功率600W; 18.直径4 英寸工件台,转速0-30RPM 可调节, 转轴磁流体密封,最高加热温度室温至800 度精度: ±1°C,配备基片挡板,电控气动。 19. 系统应至少包含以下配置:脂润滑分子、高真空阀门、机械泵、真空计、小阀门、气体质量流量计、自动匹配射频电源、磁控靶枪、直流电源、靶挡板、样品台、恒压控制系统、电气控制系统、循环水机、气泵、薄膜规等。
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大面积铁电薄膜制备设备
当前信息
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