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发布时间:2025-12-23 17:10:24
| 真空腔体 | 项目编号**** | |
| 2025-12-23 17:10:24 | 公告截止日期2025-12-27 12:00:01 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后,付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求合同签订后56天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
| 真空腔体 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 技术参数: 1、基本配置 设备尺寸:1101×1160×1584 mm(W×D×H) 腔体尺寸:825×922×760 mm(W×D×H) 正电极尺寸:603×530×12.7 mm(W×D×H) 负电极尺寸:523×450×12.7 mm(W×D×H) 有三种气路,可保证稳定通畅气体供给 包含温度传感器,可以实时监控腔体内温度 腔体内部可承受0-200℃下稳定工作 气体通道泄露:3min≤60mTorr 极限真空能力:≤10mTorr 抽真空能力:60s内≤0.010Torr 真空三分钟泄露:3min≤60mTorr Recipe:具备多步功能设置 操作员可以切换程序、10 操作、调整机器位置参数 2、操作系统: 7”彩色显示屏 高速通讯可编程控制器 3、报警系统: LED三色:红,黄,绿 具历史报警事件记录查询功能 安全警报互锁 真空泵电流过载:过载报警 腔体门开关保护:有安全警报 气体压力不足:有安全警报 气体流量不足:有安全警报 电源功率异常:有安全警报 真空度异常:有安全警报 抽真空异常:有安全警报 真空泵冰水异常:有安全警报 4、厂 务: 电力:AC380/3PH/50Hz 工艺气体压力:0.15~0.3MPa CDA 压力:0.5~0.7MPa 5、电脑操作系统: 设备操作说明书 设备元器件操作手册 设备电路图说明书 |
| 商务要求: 质保和售后服务: 1、交货周期:合同签订后 6-8周出机。 2、保质量期:验收后12个月。 3、保修期间,设备如有故障,乙方在接到甲方通知8小时内,回复处理方案,如需现场服务,48小时内派人到甲方进行维修,若配件或零件出现问题无法修复,需无偿更换相应配件或零件。保修期满,乙方长期提供技术支持,并有偿提供备品、备件及服务。 |