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季华实验室采购高质量多功能复合物理气相沉积系统

广东

发布时间： 2025年12月29日

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实验室采购气相

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****2025年12月至2026年01月政府采购意向-****采购高质量多功能复合物理气相沉积系统详细情况

****采购高质量多功能复合物理气相沉积系统
项目所在采购意向：	****2025年12月至2026年01月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****采购高质量多功能复合物理气相沉积系统
预算金额：	200.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	标的名称:高质量多功能复合物理气相沉积系统标的数量:1 主要功能或目标:"可在金属、陶瓷等基材表面物理气相沉积制备多种成分与结构的单层或多层复合涂层，至少具备以下4个模块：（1）三英寸磁控溅射靶：≥3个，品字形或矩形排布；（2）弯管过滤电弧靶位：≥1个；（3）矩形磁控溅射靶位：≥2个；（4）阳极层离子源清洗模块：≥1个。可制备的涂层包括但不限于： 1.Cr、Ti、Au等金属涂层； 2.Cu-Ti等多元素金属复合涂层； 3.TiN等氮化物、WC等碳化物和MoS 需满足的要求:"1、极限真空：≤8.0×10-4Pa； 2、有效沉积尺寸:≥φ300×120mm； 3、真空腔室耐温≥500℃； 4、每个靶位均带独立挡板； 5、样架承重不低于100kg； 6、样架公转速度0~5rpm范围内可调； 7、溅射时具备偏压功能； 8、3个三英寸靶具备直流、射频、HIPIMS等多种功能模式，可单独溅射、依次溅射和共溅射，HIPIMS溅射与偏压可同步； 9、配备Ar、N2、O2、CH4、
预计采购时间：	2026-01
备注：	科研仪器设备