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中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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一、项目编号：****（招标文件编号：****）
二、项目名称：****配套专用PVD模块组件加工服务采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：****
供应商地址：**省**市临平区临平街道顺达路500号
中标（成交）金额：538.****000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 服务名称 | 服务范围 | 服务要求 | 服务时间 | 服务标准 |
| 1 | **** | 配套专用PVD模块组件加工服务 | 详见招标文件 | 包括晶圆升降单元，晶圆传输单元及后处理单元，腔体真空度≤5.0×10-7 Torr，泄漏率：≤1×10-8 std. cc/sec He，温度波动≤±1℃ | 12个月 | 详见招标文件 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
张涛 曹劲夫 井传棣 肖石林 母志强（用户代表）
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：1980号文
本项目代理费总金额：0.000000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法，中标供应商的评审综合得分为90.80分。
附件：招标文件
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：****
地址：**市**路865号
联系方式：纪老师 ,021-****1070
2.采购代理机构信息
名 称：****
地 址：**市**区**街1****中心20层
联系方式：杨帆 陈小舫 赵倩,021-****7141/010-****0551/010-****0560, xfchen@oitc.****.cn
3.项目联系方式
项目联系人：杨帆 陈小舫 赵倩
电 话： 021-****7141/010-****0551/010-****0560
附件（1）
3051-PVD发售稿.zip下载预览
招标进度跟踪
2025-12-30
中标通知
中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告
当前信息
2025-11-27
2025-09-29
2025-09-08
2025-06-04
招标预告
配套专用PVD模块组件加工服务
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