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| ****超****中心科研仪器设备采购 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年12月至2026年02月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ****超****中心科研仪器设备采购 |
| 预算金额: | 2437.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
标的名称:300mm****工作站 标的数量:1 主要功能或目标:主要用于大口径高精度(面形RMS优于1nm)光学元件检测,包括表面面形,透射波前,材料光学均匀性,超高精度曲率半径等参数的测试,广泛应用于空间光学,强激光,同步辐射,光刻物镜制造等。 需满足的要求:1.工作形式:光束垂直向下; 2.主机测试口径≥300mm; 3.光学分立变倍:3X; 4.主机激光光源波长:633nm; 5.测试原理和技术:菲索型共光路,波长调制移相干涉原理,具有抗震相移模式; 6.RMS波前重复性(mean+2σ):平面检测腔<0.32nm、球面检测腔<0.75nm; 7.球面曲率半径测量不确定度≤0.1μm; 8.包含温控系统,保证测试环境稳定。
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| 预计采购时间: | 2026-02 |
| 备注: |
科研仪器设备
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本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写