超高纯光刻胶配套试剂和CMP抛光液中试项目

审批
上海-上海-金山区
发布时间: 2026年01月03日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称: 建设单位代码类型: 建设单位机构代码: 建设单位法人: 建设单位联系人: 建设单位所在行政区划: 建设单位详细地址:
****
****0116MAD5UQGK54黄西红
黄西红**市**区
**卫镇秋实路688号3幢二层
建设项目基本信息
项目名称: 项目代码: 项目类型: 建设性质: 行业类别(分类管理名录): 行业类别(国民经济代码): 工程性质: 建设地点: 中心坐标: ****机关: 环评文件类型: 环评批复时间: 环评审批文号: 本工程排污许可证编号: 排污许可批准时间: 项目实际总投资(万元): 项目实际环保投资(万元): 运营单位名称: 运营单位组织机构代码: 验收监测(调查)报告编制机构名称: 验收监测(调查)报告编制机构代码: 验收监测单位: 验收监测单位组织机构代码: 竣工时间: 调试起始时间: 调试结束时间: 验收报告公开起始时间: 验收报告公开结束时间: 验收报告公开形式: 验收报告公开载体:
超高纯光刻胶配套试剂和CMP抛光液中试项目
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造C3985-C3985-电子专用材料制造
**市**区 **卫镇秋实路688号3幢二层
经度:121.27111 纬度: 30.72723****环境局
2024-08-01
金环许〔2024〕107号
2025-08-201200
40****
****0116MAD5UQGK54****
****0116MAD5UQGK54****集团****公司
913********281069C2025-08-10
2025-08-102025-09-20
2025-12-042025-12-31
https://e2.****.cn/qygkweb/jsp/view/hjxxgk/jsxmhp_index.jsp
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
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规模
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
光刻胶稀释剂年产量23.6t、显影液年产量11.88t、蚀刻液年产量5.94t、CMP抛光液年产量7.92t本次验收采取分批次方式进行。本次验收产能包括:光刻胶稀释剂年产量23.6t、显影液年产量11.****.
受市场因素影响,本次验收采取分批次方式进行。
生产工艺
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
光刻胶稀释剂工艺流程:投料→混配、过滤→取样、质检→灌装。 显影液工艺流程:投料→混配、过滤→取样、质检→灌装。 蚀刻液工艺流程:投料→混配、稀释、过滤→取样、质检→灌装。 CMP抛光液工艺流程:烘干→投料→混配→稀释→取样、质检→过滤→灌装。本次验收采用分批次形式开展,纳入本次验收范围的产品包括光刻胶稀释剂和显影液中试研发。光刻胶稀释剂工艺流程:投料→混配、过滤→取样、质检→灌装。 显影液工艺流程:投料→混配、过滤→取样、质检→灌装。
本次验收采用分批次形式开展,纳入本次验收范围的产品包括光刻胶稀释剂和显影液中试研发。蚀刻液、CMP抛光液因市场原因暂未生产,故不纳入本次验收范围。
环保设施或环保措施
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
废水:本项目雨污分流,纯水制备浓水经本项目污水排口DW001后与****园区污水管网,最终排****处理厂进行处理。废气:本项目光刻胶稀释剂、显影液研发过程产生的开盖、取样、包装逸散有机废气经负压收集,混配有机废气经管道密闭收集,实验检测经通风橱收集,收集后经过滤+改性活性炭装置处理后,通过DA001排气筒15米高排放。噪声:本项目选用低噪声设备、合理布局、基础减振、建筑隔声。固体废物:本项目设置一般工业固废暂存区和危废暂存区。本项目生产过程中固体废物主要为废滤膜、沾染化学品的包装材料、未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂、废样品、废液、废滤网、废活性炭和生活垃圾等。其中未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂属于一般工业固体废物,收集后暂存一般固废暂存区,最终委托相关单位综合利用;废滤膜、沾染化学品的包装材料、废样品、废液、废滤网、废活性炭属于危险废物,分类收集后暂存于危废暂存间,委托危废资质单位处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。项目一般固废暂存区建设符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)的规定要求。一般工业固体废物贮存设施,落实防渗漏、防雨淋、防扬尘等要求,按固废类别进行分类贮存,禁止将一般工业固体废物投放到生活垃圾收集设施,禁止将不符合豁免条件的危险废物等混入到一般工业固体废物收集贮存设施。项目企业危废暂存区已采取硬化、防渗地面,做到防渗漏、防晒、防雨、防风,并设置泄漏液体收集装置。其建设和运行符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求,并按照执行《危险废物识别标志设置技术规范》(HJ1276-2022)张贴危险废物环保标识规范的警示标志。废水:本项目雨污分流,纯水制备浓水经本项目污水排口DW001后与****园区污水管网,最终排****处理厂进行处理。废气:本项目光刻胶稀释剂、显影液研发过程产生的开盖、取样、包装逸散有机废气经负压收集,混配有机废气经管道密闭收集,实验检测经通风橱收集,收集后经过滤+改性活性炭装置处理后,通过DA001排气筒15米高排放。噪声:本项目选用低噪声设备、合理布局、基础减振、建筑隔声。固体废物:本项目设置一般工业固废暂存区和危废暂存区。本项目生产过程中固体废物主要为废滤膜、沾染化学品的包装材料、未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂、废样品、废液、废滤网、废活性炭和生活垃圾等。其中未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂属于一般工业固体废物,收集后暂存一般固废暂存区,最终委托相关单位综合利用;废滤膜、沾染化学品的包装材料、废样品、废液、废滤网、废活性炭属于危险废物,分类收集后暂存于危废暂存间,委托危废资质单位处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。项目一般固废暂存区建设符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)的规定要求。一般工业固体废物贮存设施,落实防渗漏、防雨淋、防扬尘等要求,按固废类别进行分类贮存,禁止将一般工业固体废物投放到生活垃圾收集设施,禁止将不符合豁免条件的危险废物等混入到一般工业固体废物收集贮存设施。项目企业危废暂存区已采取硬化、防渗地面,做到防渗漏、防晒、防雨、防风,并设置泄漏液体收集装置。其建设和运行符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求,并按照执行《危险废物识别标志设置技术规范》(HJ1276-2022)张贴危险废物环保标识规范的警示标志。
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其他
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
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3、污染物排放量
污染物 现有工程(已建成的) 本工程(本期建设的) 总体工程 总体工程(现有工程+本工程) 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 (万吨/年) COD(吨/年) 氨氮(吨/年) 总磷(吨/年) 总氮(吨/年) 废气 气量 (万立方米/年) 二氧化硫(吨/年) 氮氧化物(吨/年) 颗粒物(吨/年) 挥发性有机物(吨/年)
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 本项目雨污分流,纯水制备浓水经本项目污水排口DW001后与****园区污水管网,最终排****处理厂进行处理 《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三级标准 本项目雨污分流,纯水制备浓水经本项目污水排口DW001后与****园区污水管网,最终排****处理厂进行处理 ****集团****公司于2025年9月28日~29日进行现场验收监测,监测点位:污水排口(DW001);污水排口(DW001)监测指标:pH、CODCr、SS、NH3- N;监测频次:4次/天,2天。
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 过滤+改性活性炭装置 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) 项目光刻胶稀释剂、显影液研发过程产生的开盖、取样、包装逸散有机废气经负压收集,混配有机废气经管道密闭收集,实验检测经通风橱收集,收集后经过滤+改性活性炭装置处理后,通过DA001排气筒15米高排放。 ****集团****公司于2025年9月28日~29日对DA001排气筒废气进行现场验收监测,1#排气筒监测因子为非甲烷总烃;2025年9月28日~29日对进行厂界无组织现场验收监测,厂界内监测因子为非甲烷总烃;监测频次:3次/天,2天。
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 生产设备和风机 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准 选用低噪声设备、合理布局、基础减振、建筑隔声。 ****集团****公司于2025年9月28日~29日进行现场昼间验收监测,监测点位:厂界东、南、西、东侧;监测频次:昼间1次/天,2天。
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 项目固体废物应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集、规范贮存、妥善处理。废滤、沾染化学品的包装材料、废样品、废液、废滤网、废活性炭等危险废物收集后存放在专用的危险废物暂存场所内,委托有资质单位处置,签订危险废物处置协议,每年定期申报《危险废物管理计划》。危险废物暂存场所设置应符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂等一般工业固体废物委托处置,贮存场所设置应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)。生活垃圾委托环卫部门清运。 企业未沾染化学品的包装材料、废离子交换树脂属于一般工业固体废物,收集后暂存一般固废暂存区,最终委托相关单位综合利用;废滤膜、沾染化学品的包装材料、废样品、废液、废滤网、废活性炭属于危险废物,分类收集后暂存于危废暂存间,委托危废资质单位处置。生活垃圾由环卫部门定期清运。项目一般固废暂存区建设符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)的规定要求。一般工业固体废物贮存设施,落实防渗漏、防雨淋、防扬尘等要求,按固废类别进行分类贮存,禁止将一般工业固体废物投放到生活垃圾收集设施,禁止将不符合豁免条件的危险废物等混入到一般工业固体废物收集贮存设施。项目企业危废暂存区已采取硬化、防渗地面,做到防渗漏、防晒、防雨、防风,并设置泄漏液体收集装置。其建设和运行符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求,并按照执行《危险废物识别标志设置技术规范》(HJ1276-2022)张贴危险废物环保标识规范的警示标志。
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
供水系统依托厂区,排水系统依托厂区,供电系统依托厂。供水系统依托厂区,排水系统依托厂区,供电系统依托厂。
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环保搬迁
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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区域削减
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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功能置换
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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其他
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准: 地下水是否达到验收执行标准: 环境空气是否达到验收执行标准: 土壤是否达到验收执行标准: 海水是否达到验收执行标准: 敏感点噪声是否达到验收执行标准:
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定,请核实该项目是否存在下列情形:
1 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展,属于前期项目。
2.根据该项目的描述,可依据自身条件进行选择和跟进,避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设,也可继续跟踪,项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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