滁州惠科光电科技有限公司惠科COA集成全铜技术全面升级改造项目环评报告表批前公示

拟批准环境评价报告书、表的项目

项目名称：

惠科COA集成全铜技术全面升级改造项目

建设地点：

安****开发区苏滁大道101号

建设单位：

****

环境影响评价机构：

******公司

项目概况：

该项目位于安****开发区苏滁大道101号，拟在现有厂房内实施技术改造项目。通过新增阵列曝光机、边缘打码曝光机、彩膜曝光机、干法刻蚀机、彩膜涂布机、金属溅镀机、彩膜自动光学检查机等一系列先进智能化设备，对现有产线进行全面升级，旨在达成产线COA集成全铜技术的全覆盖。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

（1）废气：本项目涉及变动的废气主要为有机废气、特殊排气。有机废气经6套沸石浓缩转轮焚烧装置（5用1备）处理后通过5根48.8m有机废气排气筒（DA001~DA004、DA027）排放；特殊排气经“POU处理+滤筒除尘+碱液喷淋”工艺处置后通过5根48.8m高特殊废气排气筒（DA005~DA009）排放。其中涉及的氮氧化物、二氧化硫、氟化物、颗粒物污染物排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级和无组织排放监控点标准限值；挥发性有机废气有组织及厂区内厂房外无组织排放参照执行《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分 电子工业》（DB34/4812.5-2024），厂界无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》表2排放限值；氨无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1新扩改建二级限值，有组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。

（2）废水：本项目主要废水为酸碱废水、蚀刻废水、含氟废水、含铜废水、剥离废水、TMAH废水、染料废水、有机废水、生活污水。酸碱废水采用“两级pH调节+两级（缺氧+好氧）”工艺处理，同时厂区设有浓酸碱废水处理系统（S6-1），采用两级pH调节中和工艺处理后排放，稀酸碱废水处理系统（S6-2），采用“pH调节+UF超滤+RO反渗透”工艺，净水回用于生产线纯水制备，RO浓水排入（S6-1）；蚀刻废水进入蚀刻废水处理系统，采用两级“混凝+絮凝+沉淀”工艺，处理后进入有机废水处理系统（S5-2）；含氟废水进入含氟废水处理系统，采用两级“反应+混凝+絮凝+沉淀”工艺，处理后进入有机废水处理系统（S5-2）；含铜废水进入含铜废水处理系统，采用“双氧水去除+两级（pH调节+混凝沉淀）+化混除磷”工艺，处理后进入有机废水处理系统（S5-2）；剥离废水进入剥离废水处理系统，采用“两级pH调节+两级（缺氧+好氧）”工艺，处理后进入有机回收废水处理系统（S3）；TMAH废水进入TMAH废水处理系统，采用“树脂吸附+pH调整+混凝+絮凝+气浮”工艺，处理后进入（S5-1）有机废水处理系统；染料废水进入染料废水处理系统，采用“反应+混凝+絮凝+沉淀”工艺，出水进入TMAH废水处理系统（S4-2）；有机废水设置3套有机废水处理系统，包括有机废水处理系统（S5-1）采用“两级pH调节+两级（缺氧+好氧）”工艺，有机废水处理系统（S5-2）采用“两级pH调节+两级（缺氧+好氧）”工艺，有机回收水处理系统（S3）采用“pH调整+缺氧+好氧+MBR+UV+RO”工艺；生活污水经隔油池化粪池预处理，从生活污水排口排放。厂区生产废水总排放口执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准****处理厂接管标准，标准从严。生活污水排放执行《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4中三级标准，其中氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1B级标准，生活污水和生产废水完全分开，分别设置排放口，生活污水从生活污水排放口汇入市政污水管网，再进****处理厂处理。

（3）噪声：本项目主要噪声为室外声源，噪声值在70～75dB（A）之间。营运期南厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中3类标准限值要求，东、西、北厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中4类标准限值要求。根据预测结果，营运期间噪声均能满足相关标准限值。

（4）固废：本项目产生的固体废物主要有废靶材、间隔纸和包装纸箱、泡沫、非化学品包装材料及栈板、废金属、废塑料膜、废玻璃、工业垃圾、生化垃圾、蚀刻污泥（主要成分为CaF2，Ca3(PO4)2）、物化有机污泥及生化有机污泥、Al蚀刻废液、铜蚀刻废液、杂排（废光刻胶、PI、设备擦拭废液）、剥离液蒸馏回收残渣、PGMEA回收残液、废稀释剂、废NMP、含液晶残次品、废阴阳离子树脂、ST823（废溶剂）、报废化学品、沾染化学品类包装材料、POU及CVD废气除尘器收集粉尘、废机油等含油废物、含铜污泥、实验室废液、废铅蓄电池、废电路板、含汞废灯管、废活性炭等，危险废物在厂内危废仓库暂存后，委托有处理资质的单位安全处置，其他一般固废均依法妥善处理。因此，本项目产生的各类固废均得到了有效地处理及处置，对周围环境不会造成不良影响。

公众参与情况：

****政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

相关文件：

听证权利告知：

依据《中华人民**国行政许可法》，自公示日起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

办理部门：

****环境局

联系电话：

0550-****626

传真：

0550-****175

通讯地址：

**市龙蟠大道99****管理局****管理局****环境局窗口