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浏阳泰科天润半导体技术有限公司6英寸碳化硅电力电子器件产业化项目（二期工程）

审批

湖南-长沙-浏阳市

发布时间： 2026年01月06日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0181MA4R1EUW59	陈彤
缪炼	省市**市
**开发区南路新能源汽车零部件产业园18号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****6英寸碳化硅电力电子器件产业化项目（二期工程）	****

2021版本:080-电子器件制造	C3972-C3972-半导体分立器件制造
	****市 ****市
经度:113.313333 纬度: 28.198611	**环境局分局
	2024-05-17
长环评（**）〔2024〕85号	****0181MA4R1EUW59001U
2025-11-07	10000
451.2	****
****0181MA4R1EUW59	多杰**公司
****0111MA4M87ML98	******公司
****0122MA4L531A7D	2025-11-06
2025-11-07	2025-11-14
2025-12-08	2026-01-05
	http://www.****.cn/shows/9/662.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年新增生产6英寸碳化硅功率器件4万片	年新增生产6英寸碳化硅功率器件4万片
无变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

SiC外延片→酸洗→碱洗→有机溶剂清洗→光刻（涂胶、曝光、显影）→干法刻蚀→去胶→化学气相沉积→离子注入→去SiO2掩膜→碳膜溅射→退火→热氧化→光刻（涂胶、曝光、显影）→清洗→金属淀积→湿法刻蚀→清洗→减薄→金属淀积→激光退火→清洗→固化→测试→SiC功率器件晶圆管芯→晶圆切片→表面贴装→清洗→键合→塑封、固化淀积→电镀（外委）→切筋→测试	SiC外延片→酸洗→碱洗→有机溶剂清洗→光刻（涂胶、曝光、显影）→干法刻蚀→去胶→化学气相沉积→离子注入→去SiO2掩膜→碳膜溅射→退火→热氧化→光刻（涂胶、曝光、显影）→清洗→金属淀积→湿法刻蚀→清洗→减薄→金属淀积→激光退火→清洗→固化→测试→SiC功率器件晶圆管芯→晶圆切片→表面贴装→清洗→键合→塑封、固化淀积→电镀（外委）→切筋→测试
无变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目应加强水污染控制，切实搞好雨污分流。项目废水分类收集、分质处理。本项目新增氨氮废水、BOE废水、含氟废水和含磷废水依托一期已建设的含氟废水处理系统，晶圆管清洗废水及有机废水依托一期已建的有机废水处理系统，研磨废水、激光退火后清洗废水分别依托一期已建的研磨、激光退火废水处理系统分质处理后进入酸碱废水处理系统；新增的尾气燃烧喷淋废水、酸碱废水喷淋废水、含酸废水经厂区的酸碱废水处理系统处理；以上废水处理厂接管标处理厂进行深度处理。项目应加强大气污染控制。酸洗、去胶、蚀刻等工序产生的酸性废气经碱液喷淋塔处理，干法刻蚀产生的尾气先经电加热燃烧及水喷淋处理后再进入碱液喷淋塔处理，外排废气中氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物（含硝酸雾和N2O）排放浓度和速率须满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准限值后，通过一根27米高排气筒排放；硅片碱洗工序产生的碱性废气经稀硫酸喷淋吸收装置处理达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值后，通过一根27米高排气筒排放；有机溶剂清洗、光刻等工序产生的有机废气（非甲烷总烃）经收集采用活性炭吸附设施处理达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准限值后，通过一根27米高排气筒排放；溅射、退火工序使用的氩气、氮气保护气使用完成后经一根23米高排气筒排放。加强车间无组织废气排放控制，车间为密闭式洁净车间，各类废气经各车间单独收集，焊接烟尘采用移动式焊接烟气净化器处理，污水处理站产臭环节须加盖密闭，提高废气收集处理率，确保厂界氨、硫化氢、臭气浓度无组织排放满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1二级标准值，厂界非甲烷总烃、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氮氧化物满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值。项目应强化噪声污染控制措施。选用低噪声设备，采用减振、隔声、合理布局等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。项目应加强固体废弃物分类管理和利用。生活垃圾、**园区环卫部门清运；废氮化铝、废靶材由生产厂家定期回收；废碳化硅功率器件、晶圆管芯边角料、框架边角料、纯水制备产生的废反渗透膜及废离子交换树脂等一般固废交由物资回收单位回用利用；废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废乙醇、废丙酮、废光刻胶、废显影液、废去胶液、废BOE、废钛腐蚀液、废铝腐蚀液、废硅酸腐蚀液、废试剂瓶及废试剂桶、废活性炭、污水站污泥、废矿物油、废含油含酸抹布手套等危险废物须按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行分类收集、贮存，定期委托有资质单位按《危险废物转移管理办法》要求进行转移、处置。	本公司废水已实现分类收集、分质处理，氨氮废水、BOE废水、含氟废水和含磷废水依托一期含氟废水处理系统处理，晶圆管清洗废水及有机废水依托一期有机废水处理系统处理，研磨废水依托一期研磨废水处理系统，激光退火后清洗废水依托激光退火后清洗废水处理系统分质处理后进入酸碱废水处理系统；尾气燃烧喷淋废水、酸碱废水喷淋废水、含酸废水经厂区的酸碱废水处理系统处理；以上废水处理厂接管标处理厂进行深度处理。本公司酸性废气经碱液喷淋吸收处理，特殊气体先经尾气燃烧喷淋处理系统处理，再进入酸性废气碱液喷淋吸收处理；碱性废气经稀硫酸喷淋吸收处理；有机废气经活性炭吸附处理。排气筒高度为27m。车间采用密闭式洁净车间，各类废气分别通过各车间单独设计的车间通风系统分类收集。外排的氟化物、硫酸雾、氯化氢、非甲烷总烃、氮氧化物排放浓度和速率须达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值；氨气排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准限值；污水处理站产臭环节须加盖密闭，提高废气收集处理率，确保厂界氨、硫化氢、臭气浓度无组织排放满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1二级标准值，厂界非甲烷总烃、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氮氧化物满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值。厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。一般固废暂存于生产厂房一楼北侧，生活垃圾、**园区环卫部门清运；废氮化铝、废靶材由生产厂家定期回收；废碳化硅功率器件、晶圆管芯边角料、框架边角料、纯水制备产生的废反渗透膜及废离子交换树脂等一般固废交由物资回收单位回用利用。已按《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）中相关规范要求建设规范的危废暂存间，将废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废乙醇、废丙酮、废光刻胶、废显影液、废去胶液、废试剂空瓶/桶、废钛腐蚀液、废铝腐蚀液、废硅酸腐蚀液、废机油及油桶、废活性炭、废BOE、污泥、废离子交换树脂、废反渗透膜、废汞灯、废氨水、废硝酸、废空桶、废布棉等危险废物进行分类收集、贮存，定期委托有资质单位按《危险废物转移联单管理办法》要求进行转移、处置。
无变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目应加强安全生产管理和风险防范。按要求对突发环境事件应急预案进行修编，并落实应急预案提出的各项风险防范措施，预防发生突发环境事件，控制和减缓环境事故对环境的影响，定期组织演练，提高应急救援能力。按照《****委员会安全生产工作任务分工》的规定，严格落实安全生产企业主体责任，在项目建设和运营过程中，应对重点环保设施和项目组织开展安全风险评估和隐患排查治理，安装、使用的环保设施必须符合安全生产法律、法规、标准、规范的相关规定。	已修编突发环境事件应急预案并备案，备案编号430181-2025-065-M，已落实应急预案提出的各项风险防范措施，预防发生突发环境事件，控制和减缓环境事故对环境的影响。
无变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

10.934	7.0692	0	18.003	7.069
3.28	2.12	5.4	5.4	2.12
0.164	0.106	0.27	0.27	0.106
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	/
0.012	0	0.012	0.012	0	/
0.12	0.0305	0.151	0.15	0.03	/
0	0	0	0	0	/
1.144	1.713	0	2.857	1.713	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

****处理站（酸碱废水处理系统）

****处理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中半导体器件标准

****处理站（酸碱废水处理系统）

已在W1综合污水处理系统进口、W2废水总排口开展监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸液喷淋吸收塔	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准限值	酸液喷淋吸收塔	已对DA003碱性气体排气筒处理**口、DA003碱性气体排气筒处理后出口开展验收监测
2	碱液喷淋吸收塔	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值	碱液喷淋吸收塔	已对DA005酸性气体排气筒处理**口、DA005酸性气体排气筒处理后出口开展验收监测
3	活性炭吸附装置	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准限值	活性炭吸附装置	已对DA006有机废气排气筒处理**口、DA006有机废气排气筒处理后出口开展验收监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声，基础减振

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

厂房隔声，基础减振

已对厂界四周开展验收监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目应加强固体废弃物分类管理和利用。生活垃圾、****园区环卫部门清运；废氮化铝、废靶材由生产厂家定期回收；废碳化硅功率器件、晶圆管芯边角料、框架边角料、纯水制备产生的废反渗透膜及废离子交换树脂等一般固废交由物资回收单位回用利用；废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废乙醇、废丙酮、废光刻胶、废显影液、废去胶液、废BOE、废钛腐蚀液、废铝腐蚀液、废硅酸腐蚀液、废试剂瓶及废试剂桶、废活性炭、污水站污泥、废矿物油、废含油含酸抹布手套等危险废物须按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行分类收集、贮存，定期委托有资质单位按《危险废物转移管理办法》要求进行转移、处置。

一般固废暂存于生产厂房一楼北侧，生活垃圾、****园区环卫部门清运；废氮化铝、废靶材由生产厂家定期回收；废碳化硅功率器件、晶圆管芯边角料、框架边角料、纯水制备产生的废反渗透膜及废离子交换树脂等一般固废交由物资回收单位回用利用。已按《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）中相关规范要求建设规范的危废暂存间，将废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废乙醇、废丙酮、废光刻胶、废显影液、废去胶液、废试剂空瓶/桶、废钛腐蚀液、废铝腐蚀液、废硅酸腐蚀液、废机油及油桶、废活性炭、废BOE、污泥、废离子交换树脂、废反渗透膜、废汞灯、废氨水、废硝酸、废空桶、废布棉等危险废物进行分类收集、贮存，定期委托有资质单位按《危险废物转移联单管理办法》要求进行转移、处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目应加强安全生产管理和风险防范。按要求对突发环境事件应急预案进行修编，并落实应急预案提出的各项风险防范措施，预防发生突发环境事件，控制和减缓环境事故对环境的影响，定期组织演练，提高应急救援能力。按照《****委员会安全生产工作任务分工》的规定，严格落实安全生产企业主体责任，在项目建设和运营过程中，应对重点环保设施和项目组织开展安全风险评估和隐患排查治理，安装、使用的环保设施必须符合安全生产法律、法规、标准、规范的相关规定。

已修编突发环境事件应急预案并备案，备案编号430181-2025-065-M，已落实应急预案提出的各项风险防范措施，预防发生突发环境事件，控制和减缓环境事故对环境的影响。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程