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真空镀膜设备（清采比选20260024号）采购公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 真空镀膜设备 | 项目编号**** | |
| 2026-01-08 14:47:13 | 公告截止日期2026-01-11 15:00:00 | |
| **** | 付款方式货到付款100% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后7个自然日内 | |
| ￥ 350000.00 | ||
| **市****汽车研究所602 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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采购清单index
| 真空镀膜设备 | 1 | 台 |
| ￥ 350000.00 |
| 1. 可以固定1个150mm x 150 mm的基片托盘，附带水冷功能，向下兼容，采用嵌入式结构，旋转速度可调，并配有二块挡板，气缸驱动。 2. 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 3. 4组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见有机，金属及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。 4. 2台蒸发电源，功率≤1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 5. 膜厚速率显示精度在±0.01/S，2个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近，膜厚仪支持共蒸发。 6. 蒸镀速率，可蒸金属: 以g为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.01-0.5/S)，≤±5%(0.5-10/S)，≤±4%(>10/S)；单片内膜厚匀性≤5%。测试方法：有效区范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大 值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于15 mm×15 mm，测试设备可采用椭偏仪或台阶仪测量。 7. 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm*400mm*560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 8. 真空腔体配备两个可以完全打开的门，可连接手套箱，腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护） 9. 前级泵的抽速不低于30m 3/h，主泵采用抽速≥650l/s的分子泵。 10. 软件控制采用工控机控制模式，相关的操作均在电脑显示界面完成。 11. 控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换，带有一键自动蒸镀功能。 |
招标进度跟踪
2026-01-12
2026-01-08
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