微纳电子平台光刻胶及配套试剂

项目名称 微纳电子平台光刻胶及配套试剂 项目编号 ****
公示开始日期 2026-01-09 16:34:05 公示截止日期 2026-01-13 17:00:00
采购单位 **** 付款方式 预付 40%，剩余部分验收合格后 30 天内一次性付清，每次付款前应由乙方提供等额发票；
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后7工作日 到货时间要求 签约后90工作日
预算 ￥ 196,000
供应商资质要求
满足《****政府采购法》第二十二条规定

收货地址 **市**区**大道东777号******国际校区B1d124
采购清单1
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液3 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 福尼克斯
规格型号 Resist Developer RD6 4L
技术参数 水浓度＞90%，四甲基氢氧化铵浓度＜3%，表面活性剂浓度＜1%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单2
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶6 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZP4620 1加仑
技术参数 1、厚度4000rpm：8um
2、正性光刻胶，可交联作介质；适用于MR和电感薄膜线圈电镀、晶圆凸点工艺等高精度场景
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单3
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
去胶液 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 Remover PG 4L
技术参数 甲基-2-吡咯烷酮：≥99%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单4
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
稀释剂 2 瓶 专项化学用品 否
品牌 江化微
规格型号 PGMEA 4L
技术参数 丙二醇甲醚醋酸酯：>99.5%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单5
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
漂洗液 4 瓶 专项化学用品 否
品牌 **艾森世华
规格型号 JY0760M 4L
技术参数 负胶漂洗液，丙二醇甲醚醋酸酯：≥98%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单6
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液2 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 陶氏
规格型号 MF-319 5L
技术参数 聚烷基乙二醇＜1.0%，四甲基氢氧化铵：1.0-5.0 %
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单7
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
增粘剂 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 OmniCoa 125ml
技术参数 环戊酮：70-90%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单8
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶1 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 LOR 10A 500ml
技术参数 1、厚度4000rpm：600nm
2、用于双层剥离工艺底层胶，配合成像胶可实现0.25μm 以下沉积图形
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单9
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液5 4 瓶 专项化学用品 否
品牌 **艾森世华
规格型号 JY0810N 4L
技术参数 负胶显影液，环戊酮：≥98%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单10
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
清洗剂 2 瓶 专项化学用品 是
品牌 TOK
规格型号 OK73 20L
技术参数 丙二醇一甲醚≥70wt%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单11
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶3 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZ703 1加仑
技术参数 厚度4000rpm：0.93um
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单12
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶4 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZ5214E 1加仑
技术参数 1、厚度4000rpm：1.40um
2、正性光刻胶，可图像反转成负性图案，用于剥离工艺；图像反转模式下可实现 0.55-2.0μm 图形
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单13
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液7 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZ 300MIF 20L
技术参数 四甲基氢氧化铵： 1 %-2.5%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单14
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
增粘剂 1 瓶 专项化学用品 否
品牌 江化微
规格型号 HMDS 1加仑
技术参数 六甲基二硅胺：5-40%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单15
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶7 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 Su-8 3035 100ml
技术参数 1、厚度4000rpm：25um
2、高对比度永久性负性环氧光刻胶；厚度20-50 μm时可实现分辨率接近 5-8 μm
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单16
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液1 1 瓶 专项化学用品 否
品牌 江化微
规格型号 TMAH 4L
技术参数 2.38% 四甲基氢氧化铵
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单17
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶5 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZ5206 1加仑
技术参数 1、厚度4000rpm：600nm
2、正性光刻胶，可图像反转成负性图案，用于剥离工艺；可实现 0.5-1.0μm 线宽
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单18
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
电子束光刻胶1 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 瑞翁
规格型号 ZEP 520（RDZ） 100ml
技术参数 1、厚度4000rpm：340nm
2、正性电子束光刻胶；高分辨率，可实现矩形图案轮廓，适用于电子束光刻高精度场景
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单19
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
树脂溶液 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 HDM
规格型号 HD4110 1L
技术参数 1、厚度4000rpm：固化前14um，固化后8um
2、i线光刻胶，分辨率6-8um；固含量：36%；粘度：80Poise；
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单20
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
电子束光刻胶2 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 PMMA 950A3 1L
技术参数 1、厚度4000rpm：100nm
2、正性电子束、X 射线光刻胶，搭配用于多层工艺；固含量2%-7%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单21
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液6 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 卡亚库
规格型号 MIBK/IPA：1:3 4L
技术参数 4-甲基-2-戊酮含量20%-30%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单22
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
显影液4 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 瑞翁
规格型号 ZED-N50（ZD）1加仑
技术参数 乙酸正戊酯≥99.0%
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单23
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口
紫外光刻胶2 1 瓶 专项化学用品 是
品牌 AZ 默克
规格型号 AZ1500 4.4cp 1加仑
技术参数 1、厚度4000rpm：0.5um
2、正性光刻胶，图像反转模式下可实现 1.0μm、1.5μm 线宽
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

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2026-01-09