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| 低温半导体参数测试平台 | 项目编号**** | |
| 2026-01-08 14:46:06 | 公告截止日期2026-01-11 15:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后70%,验收合格后30% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后7个自然日内 | |
| ¥ 250000.00 | ||
| **市****物理楼B110 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 器件高低温测试平台 | 1 | 套 |
| 傅测科技 |
| APEX-LN2 |
| ¥ 250000.00 |
| 1.温度范围:80K~500K,样品环境在真空中; 2.位移臂配置:总计配备6个探针臂。 3.位移臂的XYZ方向移动范围:可移动的X、Y、Z方向距离分别不小于50mm、25mm、25mm。 4.探头:SMA接头镀金陶瓷低温探针,针尖材料为钨探针,带镀金Guard保护层,针尖直径为10微米。 5.温控仪:三通道输入温控仪和两通道均为100W的输出,测试分辨率为1mk,实现设备整体温度稳定性优于±100mk,可实现样品台和防辐射屏温度监测和控制,以及其中一个探针臂的实时温度监测; 6.系统采用同轴回路降温技术,减少液氮消耗,基础温度下防辐射屏温度低于85K. 7.显微镜:包含配套单筒显微镜,CCD相机和21.5英寸显示器,光学分辨率优于4μm,带有同轴和环形光两种光源。 8.样品座:标准2英寸三同轴样品座一套; 9.探针数量:探针总计不少于10套。 10.低温半导体参数测试平台真空度:①.室温:优于5×10^-4Torr;②.基础温度:优于5×10^-5Torr; 11.液氮杜瓦:50L液氮杜瓦,配备全自动液氮泵,可实现流速自动调节(0~2.35L/Min)及显示液位。 12.减振支架:设备配套气浮式减振支架,支架高度高度800mm,双腔室空气弹簧隔振,带配套静音空压机和真空泵减震器。 13.分子泵组:前级泵为干泵,抽速不低于3立方米/小时/氮气,分子泵机组抽速不低于84L/s@CF63@氮气,极限真空:5x10^-10mbar,含复合真空计和配套系统连接使用的真空连接附件等。 |
| 36个月 |