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| 光刻制版及刻蚀机代加工 | 1.0/套 | 1. 光刻制版服务:5英寸光刻制版(线宽[5,∞)):20张, 5英寸光刻制版(线宽[2~5)):4张, 4英寸光刻制版(线宽[5,∞)):1张, 3英寸光刻制版(线宽[5,∞)):1张,2. 刻蚀机代加工服务:牛津介质刻蚀机代加工:3小时, HSE深硅刻蚀代加工:1小时. | 按服务要求,保证光刻板和刻蚀质量满足实验需求。 |