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东南大学 - 竞价公告（CB102862026000045）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-01-13 10:58:19 截止时间：2026-01-23 09:00:00标书代写
申购主题： 化学气象外延反应腔室
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 化学气象外延反应腔室 | 1.0/套 | **科民 | T-200VC | 1.腔体：加热采用外置加热结构，反应腔体和反应腔盖外侧均有金属加热器，反应腔内侧无加热机构，防止冷凝。 2.样品台和载板：适用于1片最大不超过直径8英寸玻璃或硅片样品镀膜。 3.温度：基片温度上限不得超过150℃，SnO2反应温度不超过100℃，控制精度±1℃； 4.金属源：2路可加热直通源，配置高温快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃； 5.氧源：1路常温直通源，配置快速ALD阀（响应时间＜20ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶； 6.预留1个金属源接口、1个臭氧接口； 7.载气系统：2路N2，高精度质量流量计控制，所有前驱体源管路采用316L EP管路+VCR密封，并具有在线清洗功能； 8.整机本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa﹒L/S； 9.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃； *10设备高度≤850mm，腔室周边预留有和手套箱对接的法兰和O圈接口，以便与各大国产厂商的手套箱（箱体到地面高度＞880mm）对接。对接方式：将ALD设备推入双工位标准手套箱底部后，通过升降脚架将设备整体升高，至设备法兰和和O圈与手套箱箱体底部法兰开口对准后，锁定升降脚架，是得ALD设备和手套箱大腔能够完成密封，ALD设备的反应腔室盖字能够以上开盖的形式开在手套箱内部。 *11在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化锡，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格 | 按行业标准提供服务 |
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2026-02-05
2026-01-13
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