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杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）

审批

浙江-杭州-富阳区

发布时间： 2026年01月13日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0108MA2GYW8GX0	李荐民
鲍佳健	省市**市
富春湾灵桥镇

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

**富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）	****

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	省市市富春湾**灵桥镇
经度:120.0234 纬度: 30.0239	****环境局
	2021-07-05
富环许审〔2021〕61号	****0108MA2GYW8GX0001Y
2024-11-28	****100
42300	****
****0108MA2GYW8GX0	****
****0108MA2GYW8GX0	******公司
913********097817E	2025-08-25
2025-08-26	2026-08-25
2025-12-10	2026-01-07
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=51210P81Zx

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目位于市区富春湾灵桥镇，属于项目。项目具体情况为:项目总用地面积约214064平方米，总建筑面积约260321.04平方米，预计形成年加工60万片（5万片/月）12英寸90nm-55nm集成电路芯片的生产规模;项目总投资****000万元，其中环保投资56150万元。	项目位于富春湾灵桥镇项目总用地面积约214064m2，总建筑面积约260321.04m2，建设内容主要包括芯片主生产厂房（车间区FAB/生产设施区OB）、生产支持楼、动力中心、仓库（1#~4#）、大宗特气库、大宗特气站、硅烷站、氢氦站、大宗气体站、油泵间及罐区、空压站、变电站、燃气调压站、废水处理站、**回收站、门卫站（1#~4#）等。根据实际光刻机数量和环评审批数量，核算实际设备产能作为本次验收规模，确定本次先行验收规模为加工12英寸90nm~55nm集成电路芯片42万片/年（35000片/月）。
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

形成加工12英寸90nm~55nm集成电路芯片60万片/年（5万片/月）的生产能力。	建设内容主要包括芯片主生产厂房（车间区FAB/生产设施区OB）、生产支持楼、动力中心、仓库（1#~4#）、大宗特气库、大宗特气站、硅烷站、氢氦站、大宗气体站、油泵间及罐区、空压站、变电站、燃气调压站、废水处理站、**回收站、门卫站（1#~4#）等。根据实际光刻机数量和环评审批数量，核算实际设备产能作为本次验收规模，确定本次先行验收规模为加工12英寸90nm~55nm集成电路芯片42万片/年（35000片/月）。
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

集成电路（integratedcircuit）是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。完整的****基地制造、IC设计、晶圆制造、芯片封装等工序。其中晶圆制造又称“前工序”，包括薄膜淀积、图形转移、功能实现等工序；芯片封装又称“后封装”，包括芯片切割、表面贴装、芯片互连、塑封成型、金属沉积等工序。	本项目金属（镍、金等）化学沉积工艺未实施外，其余生产工艺与审批生产工艺一致。主要生产工艺流程图如下：集成电路（integratedcircuit）是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。完整的****基地制造、IC设计、晶圆制造、芯片封装等工序。其中晶圆制造又称“前工序”，包括薄膜淀积、图形转移、功能实现等工序；芯片封装又称“后封装”，包括芯片切割、表面贴装、芯片互连、塑封成型、金属沉积等工序。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水污染防治要求。本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。废气污染防治要求。提高装备配置的密闭性、连续化、自动化水平，采用先进适用的废气治理技术和装备。企业应安装废气收集、净化装置，必须加强车间的通风换气工作，同时做好对员工的防护措施。项目须严格按照要求落实废气治理设施方案，废气排放标准详见环评《报告表》	本次先行验收规模仅为达产的70%，含镍废水处理系统暂未投入使用，故本次先行验收设置6套生产废水处理系统及1套生活废水处理系统，设置1个废水总排口，位于厂区西南侧。6套生产废水处理系统情况如下：酸碱废水处理系统：化学中和系统→放流槽，实际设计处理规模为290m3/h，6960m3/h；含氟废水处理系统：化学沉淀（CaCl2混凝沉淀）→酸碱中和，实际处理规模为110m3/h，2640m3/h；研磨废水处理系统：混凝沉淀→酸碱中和，实际处理规模为55m3/h，1320m3/d；氨氮废水处理系统:吹脱除氨氮→并入有机废水处理系统，实际处理规模为28m3/h，670m3/d；有机废水处理系统:生化池（AOAO）→MBR→酸碱中和，设计处理规模为55m3/h，1320m3/d；含铜废水处理系统：化学沉淀→酸碱中和，实际处理规模为1m3/h，24m3/d。生活污水经厂区自建的化粪池/隔油池处理后，统一提升至废水站1生化系统进行处理；生产污水经废水站1处理后排至市政污水管网。监测期间，本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。本项目的废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气、含砷废气、废水站废气及食堂油烟等。本次先行验收规模仅为达产的70%，目前设置9套（8用1备）碱液喷淋处理系统，单台设计处理能力为100000m3/h；设置9根排气筒（8用1备），排气筒高度为35m；设置4套（3用1备）酸液喷淋处理系统，目前实际使用3台，单台设计处理能力为40000m3/h，设置4根排气筒（3用1备），排气筒高度为35m；设置3套（1用2备）沸石转轮+焚烧塔处理系统，单台设计处理能力为75000m3/h，设置3根排气筒（1用2备），排气筒高度为35m；设置4套（2用2备）高效过滤器过滤，单台设计处理能力为10000m3/h；设置2根排气筒，排气筒高度为35m；锅炉设置于动力厂房CUB11层锅炉房内，已建设2台（1用1备）锅炉，设置2根排气筒，排气筒高度39m；设置2套（1用1备）除臭系统，单台设计处理能力为30000m3/h；设置2根（1用1备）排气筒，排气筒高度为20m。根据监测结果，本项目所测有机废气排气筒出口中颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度均符合《**省工业炉窑大气污染物综合治理实施方案》（浙环函[2019]315号）排放限值要求，非甲烷总烃的排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求；酸性废气排气筒1-4出口中氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求，氨排放速率符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求；碱性废气排气筒3出口中氨排放速率符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求；含砷废气排气筒出口中砷排放浓度及排放速率符合《大气污染物综合排放标准》DB31/933-2015中表1限值要求，氯化氢、氟化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求；废水站废气排气筒1出口中氨、硫化氢排放速率均符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求，臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求；食堂油烟废气排气筒1-2排气筒中油烟排放浓度满足《饮食业油烟排放标准》（试行）GB18483-2001表2饮食业单位油烟的最高允许排放浓度要求。厂区内非甲烷总烃无组织排放浓度符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》GB37822-2019要求；厂界四周氯化氢、氯气、颗粒物、氟化物、硫酸雾及非甲烷总烃无组织排放浓度均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中的无组织排放限值要求，臭气浓度、氨、硫化氢无组织排放浓度均符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-1993中的新改扩建二级排放限值要求，该企业所测无组织废气中各污染物的排放浓度按上述测值均符合相关排放限值要求。敏感点（金富春公寓）环境空气氯化氢、氯气、硫酸雾、氨的平均浓度符合《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2–2018)附录D的要求；氟化物的1小时平均浓度和24小时平均浓度符合《环境空气质量标准》（GB3095-2012）附录A的要求；非甲烷总烃可满足参照执行《大气污染物综合排放标准详解》的要求要求。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实污染物排放总量控制措施及排污权有偿使用与交易制度。按照《报告表》结论，本项目实施后企业污染物排放总量控制目标为:化学需氧量102.38吨/年、氨氮5.12吨/年、总铜162千克/年、总镍5千克/年、总锌15.5千克/年、总砷0.06千克/年、二化硫4.02吨/年、氮氧化物30.24吨/年、颗粒物25.76吨/年、挥发性有机物27.02吨/年、砷及其化合物2.32千克/年。该项目新增化学需氧量102.38吨/年和氨氮5.12吨/年总量替代缺口由**公司结构关停减排量进行总量平衡，新增二氧化硫4.02吨/年和氮氧化物30.24吨/年总量替代缺口由富**公司关停减排量进行总量平衡:新增总砷排环境量0.06千克/年总量替代缺口由富**公司结构关停减排量进行总量平衡:新增颗粒物总量拟从已关停的**公司中调剂，新增VOCs总量拟从已关停的**公司中调剂。你单位应依照省和当地相关规定，及时落实排污权有偿使用与交易、依法缴纳环境保护税等相关事宜。	根据用水量统计计算，本项目实际废水排放量为**754t/a、CODCr排放量为52.673t/a，氨氮排放量为2.6336t/a，总铜排放量为0.00014t/a；CODCr折算先行验收达产排放量为73.77t/a，氨氮折算先行验收达产排放量为3.6886t/a，总铜折算先行验收达产排放量为0.000196；根据《电子工业水污染排放标准》GB39371-2020表2单位产品基准排水量要求，掩膜次数35层以下的12英寸芯片单位产品的基准排水量为11m3/片，本项目折算先行验收达产的排水量为（039m3/a）/（420000片/a）=5.855m3/片因此满足基准排水量指标的要求。根据检测结果计算，VOCs年排放量为0.7872t/a，颗粒物年排放量0.8976t/a， NOX年排放量为14.2136t/a，SO2年排放量为0.4734，砷年排放量为0.00000,553t/a，VOCs折算先行验收达产排放量为1.1023t/a，颗粒物折算先行验收达产排放量为8.612t/a， NOx折算先行验收达产排放量为19.9069t/a，SO2折算先行验收达产排放量为2.1444t/a，砷折算先行验收达产排放量为0.**07357t/a均在总量控制范围内，故本次先行验收废水、废气均符合总量控制要求。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

245.9039	341.28	0	0	245.904	245.904
73.77	102.38	0	0	73.77	73.77
3.6886	5.12	0	0	3.689	3.689
0	0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0	/
2.657	4.02	0	0	2.657	2.657	/
0	0	19.9069	30.24	-19.907	-50.147	/
0	8.612	25.76	0	-25.76	-25.76	/
0	1.1023	27.02	0	-27.02	-27.02	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸碱废水处理系统	《污水综合排放标准》GB8978-1996中三级标准限值、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）	酸碱废水处理系统：化学中和系统→放流槽，设计处理规模与环评一致，实际处理量为290m3/h，6960m3/d	监测期间，本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。
2	含氟废水处理系统	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。	化学沉淀（CaCl2混凝沉淀）→酸碱中和，设计处理规模与环评一致，实际处理规模为110m3/h，2640m3/h	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。
3	研磨废水处理系统	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。	混凝沉淀→酸碱中和，实际处理规模为55m3/h，1320m3/d	本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。
4	氨氮废水处理系统	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。	吹脱除氨氮→并入有机废水处理系统，实际处理规模为28m3/h，670m3/d	本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。
5	有机废水处理系统	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。	生化池（AOAO）→MBR→酸碱中和，处理规模为55m3/h，1320m3/d	本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。
6	含铜废水处理系统	本项目废水经厂区污水处理系统处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1“半导体器件”相关排放，其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中相关标准，其他污染物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准纳管，**处理厂的纳管标准，**处理厂统一处理后达标排放。	化学沉淀→酸碱中和，设计规模与环评一致，实际处理规模为1m3/h，24m3/d。	本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。
7	厂区自建的化粪池/隔油池	《污水综合排放标准》GB8978-1996中三级标准限值、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）	生活污水经厂区自建的化粪池/隔油池处理后，统一提升至废水站1生化系统进行处理；生产污水经废水站1处理后排至市政污水管网	本项目所测废水总排口中pH值、CODCr、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、总锌、总铜的排放浓度均符合《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020表1间接排放限值要求；动植物油类、阴离子表面活性、五日生化需氧量的排放浓度均符合《污水综合排放标准》GB8978-1996中的三级排放标准限值要求，氨氮的排放浓度符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》DB33/887-2013中的排放标准限值要求；雨水收集池1、雨水收集池2、雨水排放口1、雨水排放口2、雨水排放口3、雨水排放口4、雨水排放口5、雨水排放口6中pH值、CODCr、氨氮的排放浓度均符合《地表水环境质量标准》GB 3838-2002表1中Ⅴ类排放标准限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	碱液喷淋处理系统	《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996，《恶臭污染物排放标准》GB14554-93	本次先行验收规模仅为达产的70%，目前设置9套（8用1备）碱液喷淋处理系统，单台设计处理能力为100000m3/h；设置9根排气筒（8用1备），排气筒高度为35m	酸性废气排气筒1-2、4-9出口中氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、磷酸雾排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求，氨排放速率符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求
2	有机废气沸石转轮+焚烧塔处理系统	《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996，《**省工业炉窑大气污染物综合治理实施方案》（浙环函[2019]315号）	设置3套（1用2备）沸石转轮+焚烧塔处理系统，单台设计处理能力为75000m3/h，设置3根排气筒（1用2备），排气筒高度为35m	本项目所测有机废气排气筒出口中颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度均符合《**省工业炉窑大气污染物综合治理实施方案》（浙环函[2019]315号）排放限值要求，非甲烷总烃的排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求
3	酸液喷淋处理系统	《恶臭污染物排放标准》GB14554-93	设置4套（3用1备）酸液喷淋处理系统，目前实际使用3台，单台设计处理能力为40000m3/h，设置4根排气筒（3用1备）	碱性废气排气筒1、3、4出口中氨排放速率符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求
4	高效过滤器过滤	《大气污染物综合排放标准》DB31/933-2015，《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996	设置4套（2用2备）高效过滤器过滤，单台设计处理能力为10000m3/h；设置2根排气筒，排气筒高度为35m	含砷废气排气筒1、2出口中砷排放浓度及排放速率符合《大气污染物综合排放标准》DB31/933-2015中表1限值要求，氯化氢、氟化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996中表2新污染源大气污染物排放限值要求
5	除臭系统	《恶臭污染物排放标准》GB14554-93	设置2套（1用1备）除臭系统，单台设计处理能力为30000m3/h；设置2根（1用1备）排气筒，排气筒高度为20m。	废水站废气排气筒1出口中氨、硫化氢排放速率均符合《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求，臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》GB14554-93中表2限值要求
6	锅炉废气低氮燃烧器	《锅炉大气污染物排放标准》（DB33 1415—2025）表1标准限值要求，同时氮氧化物排放浓度符合《关于进一步明确市燃气锅炉低氮改造有关事项的通知》（杭大气办[2020]13号）和富大气办《关于下达市燃气锅炉低氮改造工作任务的通知》（富大气办[2020]8号）要求（新改扩建项目燃气锅炉NOx排放浓度控制在30mg/m3以下	锅炉设置于动力厂房CUB11层锅炉房内，已建设2台（1用1备）锅炉，设置2根排气筒，排气筒高度39m	锅炉废气排气筒1中颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB33 1415—2025）表1标准限值要求，同时氮氧化物排放浓度符合《关于进一步明确市燃气锅炉低氮改造有关事项的通知》（杭大气办[2020]13号）和富大气办《关于下达市燃气锅炉低氮改造工作任务的通知》（富大气办[2020]8号）要求（新改扩建项目燃气锅炉NOx排放浓度控制在30mg/m3以下

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔声降噪

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准、《声环境质量标准》GB3096-2008中2类标准

（1）动力设备安装在密闭的动力厂房内，四周加吸声材料；（2）水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振；（3）真空泵基础设计减振台基础；（4）采用风机减振垫，空调净化排风系统的主排风管设消声器；（5）柴油发电机房的排烟系统加装消声器，柴油发电机组加装防振垫圈；（6）冷却塔置于动力站房顶端靠厂区中部一侧，冷却塔采用水冷式，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫；（7）大宗气站空压机设置在室内，保证密闭并在空压站内部加装吸声材料，膨胀机等高噪声设备除减振外，已安装隔声罩，确保厂界噪声达标；（8）设备定期调试，加润滑油进行维护。

根据监测结果，监测期间，该企业所测厂界东、南、西、北昼、夜间噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》GB12348-2008中的3类声功能区排放限值要求；敏感点（金富春公寓）昼、夜间噪声符合《声环境质量标准》GB3096-2008中2类标准限值要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废弃物污染防治方面。按照“**化、减量化、无害化”处置原则妥善处置，规范设置废物暂存间，固废分类收集、堆放.分质处置，尽可能实现**的综合利用;危险废物必须收集后委托有相应危险废物处理资质单位统一处理，并在项目正式投产之前与有相关资质的危废处置单位签订处置协议:生活垃圾分类收集，定期中环卫部门统一清运处理。固废的贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）要求，并按照国家有关固废的技术规范，确保处置过程不对环境造成二次污染。

本项目固废主要为硫酸废液、氢氟酸废液、溶剂1、异丙醇废液、溶剂2、本地溶剂2、硝酸废液、磷酸废液、盐酸废液、本地溶剂1、溶剂空桶、沾染固废、硫酸铵废液、硫酸铜废液、含金属（铜）污泥、含砷废液、COD仪表检测废液、废汞灯、废铅酸电池、镉电池、废机油、光阻废玻璃/塑料容器、含砷固废、有机污泥、废离子交换树脂、废吸附过滤芯、废活性炭和反渗透膜、废靶材、废硅片、废芯片、氟化钙污泥、废包装材料、其他一般固废、办公及生活垃圾等。有机污泥、废离子交换树脂、废吸附过滤芯、废活性炭和反渗透膜等暂未产生；含锌废液、含镍废液、含金废液、含钯废液、含金属（镍等）污泥先行验收第二阶段不产生，其中危险废物均委托有资质单位处置，具体单位名称及资质情况见表4-5；氟化钙污泥委托******公司及******公司处置，废靶材、废硅片、废芯片、废包装材料及其他一般固废委托******公司处置；生活垃圾由环卫部门定期清运处理。企业在厂区建有四处危废暂存库，分别为FAB废溶剂间、FAB废液收集区、A09#**回收站BC、WWT1污泥压滤间。其中A09#**回收站BC面积约500m2，主要存放溶剂空桶、废机油、沾染固废等危废；FAB废液收集区，设置,15个罐区，容积335m3，用于收集硫酸废液、氢氟酸废液、硝酸废液、磷酸废液、盐酸废液、含砷固液；FAB废溶剂间设置13个罐区，容积159m3，用于收集溶剂1、异丙醇废液、溶剂2、本地溶剂1、本地溶剂2；WWT1污泥压滤间面积350m2，分区贮存含铜污泥。建有一般工业固废暂存库2个，分别为WWT1污泥压滤间和一般固废周转区。其中WWT1污泥压滤间用于暂存氟化钙污泥；一般固废周转区面积约500m2，用于暂存废包装材料及其他一般固废。危废仓库的建设及现场管理均符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597—2023）及《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ1276-2022）要求；一般工业固废仓库的建设及现场管理符合《一般工业固体贮存、处置场污染物控制标准》（GB18599-2001）中的相关规定及其修改单（环保部公告2013年第36号）要求。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

本项目消防水箱有效容积不小于18m3，位于FAB1栋屋顶。目前设计方案中设置不小于6000m3的废水事故池、不小于1000m3消防废水收集池，有效容积大于2840m3，满足环境风险防控的要求；雨水排放口末端设置闸板，一旦厂区发生水体污染事故，可切断污水流入厂外水体的出口。

《****突发环境事件应急预案》已于2023年1月6****环境局**分局备案，备案编号：330183J-2023-01L。企业厂区设有原料仓库和污水处理设施，为防止事故情况下企业废水进入周边水体和土壤，应设置事故应急池。企业厂区内有5个事故废水收集池 (V=7380m3 ) 、2个雨水应急池 (V=930.2 m3 ) 和1个消防废水应急池 (V= 1260m3 )。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程