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| 分子泵真空机组 | 1.0/1 | 中科科仪/鲍斯等 | 无 | 泵组的本底极限真空度为6.7×10-5Pa(绝对压力); 涡旋干泵与分子泵的抽气速率分别为3L/s和300L/s。可实现分子泵不停歇,直接切换被抽真空的腔室(高温热管、碱金属熔罐等),以提高生产效率,分子泵机组的控制系统采用触摸屏连接PLC控制。 | 按行业标准提供服务 |