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东南大学 - 竞价公告（CB102862026000049）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-01-14 10:18:52 截止时间：2026-01-23 09:00:00标书代写
申购主题： 全自动高精度真空紫外光固化系统
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后14天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 全自动高精度真空紫外光固化系统 | 1.0/台 | 定制 | 定制 | 365nm紫外波段，在250×250mm照射区域内实现均匀性≥95%的平行光输出，需满足准直光学架构与真空环境适配性，通过准直透镜组将光束发散角压缩至极限，确保光线以近似理想的平行路径作用于工件表面，有效消除传统光源因散射导致的图形边缘模糊问题。功率可在1-30mw/cm2范围内精准调节，工作时稳定性高达98%，结合30-90℃可控温样品台，能够适配光刻胶预热、高温固化等多变工艺需求。此系统的真空环境可规避氧气对光敏材料的阻聚效应，实现无缺陷的图形转移。 大气环境高性能紫外光源固化平台：采用395nm紫外波段，针对大气环境下的大面积快速固化场景优化，在250×250mm照射区域内提供0-500mw/cm2的可调功率输出，均匀性稳定在95%以上。设备搭载高效热电冷却系统，确保满负载运行时表面温度低于45℃，从根源上规避热敏感材料的形变风险。其光强输出稳定性≥95%，支持毫秒级响应开关，可无缝集成于动态固化过程的精准控制。其395nm波长与多数光引发剂吸收峰高度匹配，能显著提升固化效率与产品一致性。 真空深紫外光源固化系统 ：采用365nm深紫外波段与真空环境工艺。在250×250mm照射面内提供0-500mw/cm2的宽范围功率调节，均匀性≥95%，且功率波动控制在5%以内，确保深层固化能量的稳定传递。真空环境需彻底消除氧阻聚效应。系统采用多级散热模组，即使长时间满功率运行，设备温度仍维持在45℃以下，保障热敏感元器件的加工安全。整套工序全自动操作，带样品台，传送轴，真空腔体等，节拍为1min每次 | 按行业标准提供服务，整机质保1年，关键配件质保2两年 |
招标进度跟踪
2026-01-29
2026-01-14
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