镀膜机采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：镀膜机

（三）项目内容及需求：

1、交期：90天。

2、数量：Φ1100mm金属镀膜机1台，Φ1350mm红外增透膜镀膜机15台，磁控溅射镀膜机1台，Φ1350mm红外滤光膜镀膜机1台

3、技术要求：

（1）Φ1100mm金属镀膜机技术要求

1.镀膜机主体： 内腔尺寸≥φ1100mm

2.真空系统： 机械泵+罗茨泵+低温泵+深冷， 真空泵组选用莱宝、爱发科、爱德华等一线品牌；

3. 工件架系统： 平面行星盘，直径375mm，高110mm，数量≥4个；

4. 烘烤系统：镍铬电热丝加热

5. 蒸发源：JEOL电子枪2把，270°偏转

6. 离子源：进口RF源（直径≥17cm)，折射率均匀性<0.01

（2）Φ1350mm红外增透膜镀膜机技术要求

1.镀膜机主体：内腔尺寸≥φ1350mm

2.真空系统：机械泵+罗茨泵+低温泵+深冷， 真空泵组选用莱宝、爱发科、爱德华等一线品牌；极限压力：≤7.0E-5 Pa（24小时内）

3.工件架系统：平面行星盘，直径〉400mm

4.烘烤系统：下加热

5.蒸发源：两位固定阻蒸；涉谷电子枪一把，270°偏转

6.离子源：Veeco Mark-II+ 霍尔离子源

（3）磁控溅射镀膜机技术要求

1.镀膜机主体： 尺寸：≥400mm*400mm*450mm（高）

2.真空系统： 真空系统采用分子泵+直连泵

3. 工件架系统： 直径Φ220mm

4. 烘烤系统：高温加热器加热，加热最高温度350 ℃

5. 蒸发源：①溅射直流电源1000w共用一套自动切换；

备射频电源1 台 功率 500W；

配备一套偏压电源，电压：0-800V

溅射靶2套共用一套直流电源；

② 锥型水冷靶三套，靶头二种规格:

a.适用Φ70-120mm范围.

b.适用Φ150-250mm范围

（4）Φ1350mm红外滤光膜镀膜机技术要求

1.镀膜机主体：内腔尺寸≥φ1350mm

2.真空系统：机械泵+罗茨泵+低温泵+深冷， 真空泵组选用莱宝、爱发科、爱德华等一线品牌

3.工件架系统：平面行星盘

4.烘烤系统：下加热（不少于3组陶瓷加热板）

5.蒸发源：①12点位旋转阻蒸② JEOL进口电子枪一把，270°偏转

6.膜厚控制系统：12片旋转式晶控探头

7.离子源：Veeco Mark-II+ 空心阴极霍尔离子源

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家。

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）截止时间：2026-01-21 17:00标书代写

（二）地点：****开发区****路6号

四、联系事项

商务联系人：朱诚 电话：136****0566

技术联系人：杨工 电话：027-****6202

五、监督、投诉渠道

电话：027-****8317

邮箱：****@guide-infrared.com

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