全自动台阶仪采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：全自动台阶仪

（三）项目内容及需求：通过切换套件，可用于6寸flat 47.5mm晶圆（50-100g）和8寸notch晶圆（80-170g）制程中全自动二维和三维形貌分析。

1、数量：1台

2、交期：90天

3、技术要求：

3.1 Open cassette/SMIF上货位，可指定alignment angle，自动load/unload 6寸flat47.5mm晶圆和8寸notch晶圆；

3.2 系统支持：SECS-GEM interface，支持EAP系统；

3.3 扫描速度：2 μm/sec to 25 mm /sec；单点从台阶量测到读数完成时间<60秒/点；

3.4 垂直扫描分辨率：6.5um@resolution<0.01A；26um@resolution<0.02A；131um@resolution<0.1A；

3.5 重复性：Static 8A(1σ)@ ±3.2μm range；Dynamic 20A(1σ)@ ±3.2μm range；

3.6 光学镜头：300K或以上，3X或以上放大。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家、代理商、经销商、贸易商，公司注册资金≥200万，不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、投标人从事行业经验不少于1年。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

1、公众号二维码报名截止时间：2026-1-18 17:00标书代写

2、投标报名资料：营业执照、代理证（如有）、本次招标需提供3年内同类客户清单（提供同类设备合同1****公司资料；

3、报名资料请递交该项目采购联系人电子邮箱：****@gst-ir.com， 截止时间2026-1-20 17:00

四、联系事项

商务联系人：刘奇涛 电话：027-****2126

技术联系人：汤东强 电话：185****8148

五、监督、投诉渠道

1、审计监察部：

邮箱：****@gst-ir.com

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