双面光刻机 采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：双面光刻机

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：60日历天

3、技术要求：
3.1 机台用途：用于6寸flat（同时兼容8寸）晶圆（背面贴膜）单片制程，（6寸晶圆重量50-100g，8寸晶圆重量80-170g）的全自动光刻曝光；

3.2 硬件要求：

a.曝光波长：350 - 450 nm紫外光，

b.曝光方式：软接触、硬接触、接近式；正面光刻对准精度<0.5 um；背面光刻对准精度<1.0um。

c.光刻分辨率@ 约1um 厚度的正性光刻胶：

d.硬接触：≤1.8um

e.软接触：≤2.0um

f.接近式：≤3.0um

g.支持正反面双面全自动对准和曝光；

h.系统支持半导体通用协议，SECS-GEM通讯，支持EAP自动上下货；

i.至少2个6寸Flat晶圆（同时兼容8寸），晶圆机台适配SMIF，支持25pcs晶圆Cassette。

其他详见标书要求

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，生产商至少3年以上行业从事经验，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、本次招标要求提供打样。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）公众号二维码报名截止时间：2026-01-18 17:00标书代写

（二）投标报名资料：营业执照、代理证（如有）、3年内同类项目销售业绩清单及证明文件（合同扫描件3-5****公司资料；

（三）报名资料请递交该项目采购联系人电子邮箱：****@gst-ir.com， 截止时间2026-01-17 17:00

四、联系事项

采购联系人：冯莎莎 电话：027-****5129

技术联系人：胡工 电话：150-0279-4523

五、监督、投诉渠道

1、审计监察部：

邮箱：****@gst-ir.com

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2、党委办公室：

电话：027-****8226

邮箱：****@163.com

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