全自动干法去胶机设备采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：全自动干法去胶机设备

（三）项目内容及需求：

3.1 数量：1台

3.2 机台用途：用于对电镀制程前表面金属层做低温低功率短时O2 descum处理设备能力, 达到去除金属表面残胶、表面改性（增加润湿性）和金属层浅表层氧化的目的；

3.3 基材：6寸flat（同时兼容8寸notch）晶圆（背面贴膜）单片制程，（6寸晶圆重量50-100g，8寸晶圆重量80-170g）。

3.4 硬件要求：

（1）工艺腔需求4个station（优先考虑twin station结构）。

（2）分子泵，工艺腔真空度＜50mT。

（3）具备大流量和小流量N2和O2管路(共计四路)，小流量N2 O2流量：0-100sccm，大流量4%H2+N2混合气 N2 O2流量：0-1000sccm。

（4）系统支持半导体通用协议，SECS-GEM通讯，支持EAP自动上下货

（5）提供至少2个6寸flat晶圆（同时兼容8寸），晶圆机台适配SMIF，支持25pcs晶圆cassette。

（6）刻蚀模式：ICP或微波（功率≥1800W）。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、投标人应具备独立的法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，注册金额≥100万元人民币；

2、投标人近3年内应具有同类产品销售业绩，至少提供两份合同业绩；

3、投标人授权报名代表仅限一人，若出现多人报名则取消投标人投标资格；

4、投标人报名资料中应有法人授权委托书，并注明授权代表及其联系方式(电话号码和邮箱)；

5、投标人从事行业经验不少于1年；

6、本次招标不接受联合体投标；

7、投标人报名成功后无故缺席招投标活动的:1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）公众号二维码报名截止时间：2026-1-18 17:30标书代写

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料盖章扫描发送以下邮箱:

****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

温碧提醒:扫描二维码注册成功不等于报名，需根据公示要求所需的报名资料(营业执照、质量体系证书、业绩合同、授权委托书、“信用中国”查询无不良记录截图)，盖章扫描发送指至指定的邮箱。

(三)报名截止后，将统一向资格审查后满足要求的报名单位发送招标文件。

四、联系事项

商务联系人：谭进 电话：181****9378

技术联系人：罗巍 电话：133****4242

五、监督、投诉渠道

1、审计监察部：

邮箱：****@gst-ir.com

网络举报二维码：

2、党委办公室：

电话：027-****8226

邮箱：****@163.com

网络举报二维码：

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2026年1月14日