安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-Fanout设备采购项目合同（第8包）公告

标项1

主要标的名称：对准模块

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：****000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项2

主要标的名称：热压阳极键合模块

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：****000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项3

主要标的名称：等离子活化模块

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：850000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项4

主要标的名称：解键合模块

规格型号（或服务要求）：品牌:大族半导体
规格型号:SAB6400DB

主要标的数量：1.00

主要标的单价：****000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项5

主要标的名称：工装夹具：4/6/8英寸各1个

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：55000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项6

主要标的名称：上、下压盘：4/6/8 英寸各 1 对

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：40000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项7

主要标的名称：干泵

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：3000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项8

主要标的名称：O 圈、中心环、卡箍、石墨垫片等备品备件

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：2000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标

标项9

主要标的名称：工艺验证材料 1 套（包含：4 inch Si晶圆（表面镀金，有光刻对准标记）10片，6 inch Si 晶圆（表面镀铜，有光刻对准标记）10片，8 inch Si 晶圆（表面镀铜，有光刻对准标记）8片，4 inch、6 inch、8 inch 玻璃晶圆各 10 片，4 inch、6 inch 、8 inch 硅晶圆各 10 片）），临时键合胶 2 种。

规格型号（或服务要求）：品牌:iSABers
规格型号:自制

主要标的数量：1.00

主要标的单价：250000.00 元

合同金额： ****000.00 元

履约期限、地点等简要信息： ****,210日

采购方式：公开招标