年产50万片射频微波光通化合物半导体外延片项目（重新报批）环境影响评价第二次公示（征求意见稿公示）

本公示内容由建设单位自行提供，建设单位对其真实性和完整性负责。

一、建设项目情况简述

项目名称：年产50万片射频微波光**合物半导体外延片项目（重新报批）

建设性质：**

建设单位：****

建设地点：****经济开发区

建设内容：建设MBE分子束外延生产线、MOCVD金属有机外延生产线、办公区、危险品仓库、罐区等，年产50万片射频微波光**合物半导体外延片。

二、建设项目对环境可能造成影响的概述

（1）废水：本项目废水采用分质分流方式收集处理。其中，含砷废水包括尾气洗涤系统废水、酸碱喷淋塔置换废水、外延片清洗废水、载具及衬底清洗废水，经密闭管道收集后****处理站进行处理（pH调节+絮凝+混凝+沉淀+活性炭过滤+石英砂过滤+除砷树脂吸附）；一般废水包括办公生活污水、地面冲洗废水、纯水制备浓水，经****园区****园区污水排放管道；循环冷却系统废水直接经厂区废水排口排放。含砷废****处理站处理后通过****园区污水排放管道与处理后的一般废水汇合，****园区废水总排放口排入市政污水管网，随后****处理厂进行深度处理，尾水达到一级A标准后排入汤河。项目废水不会对纳污水体汤河的不良影响。

（2）废气：本项目氯化氢、氯、氮氧化物、氨、丙酮、异丙醇、非甲烷总烃等排放对区域环境空气的影响。

（3）噪声：本项目各种设备运行噪声对周边环境的影响。

（4）固体废弃物：本项目固体废弃物包括生活垃圾、一般工业固体废物（生产过程中产生的废芯片、纯水制备过程中产生的废过滤器和废树脂、废包装材料）、危险废物（生产过程中产生的固体残渣、废光刻胶、废显影液、废溶剂、废活性炭、污水站废水处置产生的废活性炭过滤器、废石英砂过滤器、废试剂瓶、废树脂、污泥等）。固体废弃物若处理不当对周边环境的影响。

三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点

（1）废水：厂区建设1****处理站，含砷废水包括尾气洗涤系统废水、酸碱喷淋塔置换废水、外延片清洗废水、载具及衬底清洗废水，经密闭管道收集后****处理站进行处理（pH调节+絮凝+混凝+沉淀+活性炭过滤+石英砂过滤+除砷树脂吸附）；一般废水包括办公生活污水、地面冲洗废水、纯水制备浓水，经****园区****园区污水排放管道，****园区废水总排口汇入市政污水管网****处理厂进一步处理。

（2）生产过程中MOCVD外延片生长工艺废气由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-1）通过化学反应处理达标后经27m高的DA001排气筒排放；外延片验证工艺中生长SiO2掩膜工序产生废气、干法刻蚀芯区工序产生废气、生长上包层工序产生废气、清洗及湿法刻蚀过程产生酸碱性废气由设备直连管道收集进入尾气处理设备（Scrubber-2）通过高温裂解+水喷淋进行预处理，再进入酸碱喷淋塔进一步处理经27m高的DA001排气筒排放；清洗及湿法刻蚀过程产生有机废气、光刻工序产生废气经管道密闭收集至二级活性炭吸附装置处理达标后排放经27m高的DA002排气筒排放；危废暂存间废气密闭负压收集进入二级活性炭吸附装置进行处理达标后经15m高的DA003排气筒排放。本项目采取了有效的有组织排放的控制措施，废气经收集处理后均达标排放。

（3）噪声：主要采用高效低噪声设备、建筑隔声、消音等措施以确保厂界噪声达标排放。采取上述措施后项目厂界可满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准限值要求。

（4）固体废弃物：项目产生的危险废物暂存于危废暂存间内，定期委托有资质单位处理；一般工业固废经厂区暂存定期综合回收利用等，生活垃圾由环卫部门统一清运。

四、环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点

年产50万片射频微波光**合物半导体外延片项目（重新报批）为**项目，****开发区，项目建设符合国家产业政策，选址符合总体发展规划要求；符合“三线一单 ”要求；项目建设方案符合清洁生产的相关要求。项目运营期将采取相应废气、废水、噪声、固体废物等污染防治措施，使各类污染物做到循环利用和达标排放，不会降低评价区域原有环境质量功能级别。同时厂界也设置了相应的环境防护距离，采取了相应环境风险防范措施，在公众参与调查过程中也未收到群众反馈意见。评价认为，本项目在切实落实报告书提出的各项污染防治措施及“三同时”制度的前提下，从环境影响角度而言，该项目建设可行。

五、环境影响报告书征求意见稿全文的网络链接及查阅纸质报告书的方式和途径

报告书征求意见稿电子版见本网页附件1；

报告书征求意见稿纸质版：公众可通过电话、传真和电子邮件等方式与项目建设单位或承担环评的单位进行联系，联系方式如下：

建设单位名称：****

联系人：王工，联系电话：0551-****6069

环评单位名称：****

联系人：蒋工，联系电话：0551-****4196

六、征求公众意见的范围及公众意见表的网络链接

本次环境影响评价征求意见的范围主要是：建设项目环境影响评价范围内的公民、法人、其他组织或者相关公众；公众意见表详见附件2。

七、公众提出意见的方式和途径

在公告时间内，公众可向建设单位或环评单位通过e-mail、传真、信函或其他便利的形式提交书面意见。

八、公众提出意见的起止时间

参与起止时间：自本公示发布之日起10个工作日。

公示稿-年产50万片射频微波光**合物半导体外延片项目（重新报批）环境影响报告书（解压密码****0115）.zip

公众意见表（解压密码****0115）.zip

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2025年1月15日