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| 高深宽比超细孔径工艺开发 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年3月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 高深宽比超细孔径工艺开发 |
| 预算金额: | 240.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
C****9900其他自然科学研究和试验开发服务
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| 采购需求概况 : |
高深宽比超细孔径工艺开发。为支持高深宽比超细孔径互连工艺的设计开发,拟开展工艺过程与镀层材料性能的协同建模与仿真研究。通过构建多物理场仿真模型,系统模拟工艺参数与镀层性能之间的关联,从而在实验前预测关键结果,有效降低实验试错成本与周期。基于仿真数据指导实验迭代,优化工艺窗口,最终形成定量化的工艺-性能对应数据集。成果交付目标数量有效数据集及结构化分析报告。采购数量:1项。时限:1.5年。以实际公告为准。
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| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写