成都高新区生态环境和城市管理局关于2026年1月19日拟对中微半导体设备（四川）有限公司中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目环境影响评价文件作出审批意见的公示

序号

项目

名称

建设

地点

建设

单位

环境影响

评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众参与情况

建设单位作出的相关环境保护措施承诺文件

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中微公****基地暨西南总部项目

德富大道以东，康强三路以南，康强二路以北，安泰七路以西

中微半导体****公司

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项目主要进行半导体薄膜沉积设备的研发与制造，项目拟建设半导体薄膜沉积设备组装生产线和研发试验线。

项目“组装生产线”进行半导体薄膜沉积设备的组装生产，形成年产半导体薄膜沉积设备400台/年的生产能力。

项目“研发试验线”用于半导体薄膜沉积设备的研发，研发过程为：在试片过程中调整设备运行参数（包括但不限于腔体工作电压、气态物料流速等），从而得到试片样品，交下游测试厂家进行样品测试，从而获取满足产品质量要求下的设备各项参数，为设备改进提供数据支撑，试片能力为2万片/年。

一、施工期

1、废气

施工扬尘：施工现场要严格按照《**省施工场地扬尘排放标准》（DB51/2682-2020）、《**市城市扬尘污染管理暂行规定》****政府令第86号）、《**市大气污染防治工作行动方案》相关要求，结合本项目特点实施扬尘污染控制。项目施工工地做到“十必须”（必须规范打围、保持干净整洁，必须设置出场车辆高压冲洗设施，必须硬化主要施工道路、出入口，必须湿法作业，必须及时清运建筑垃圾，必须使用800目密目网覆盖裸土、建渣，必须分类有序堆码施工材料，必须规范张贴非道路移动机械环保标识，必须安装扬尘在线监测设备、必须安装高清视频监控设备）、“十不准”（不准车辆带泥出门，不准运渣车辆冒顶装载，不准使用名录外运渣车，不准现场搅拌混凝土、砂浆，不准露天切割，不准高处抛洒建筑垃圾，不准场地积水、积泥、积尘，不准焚烧废弃物，不准干扰扬尘监测设备运行，不准干扰视频监控设备）。

机械废气：施工期间，运输车辆及机械设备的工作均会排放一定量的CO、NOx等。该类废气排放量小，且属间断性无组织排放，由于施工场地开阔，扩散条件良好，该类废气可实现达标排放。

装修废气：装饰废气主要来自于房屋装修阶段，该废气的排放属无组织排放，其主要污染因子为非甲烷总烃等有机废气。本项目预计装修时间为1个月。装饰工作完成以后，应每天进行通风换气一至二个月，由于装修时采用的涂料含有的甲醛等影响环境质量的有毒有害物质挥发时间长，使用期间也应随时保证室内空气流畅。

2、废水

施工期废水来源主要为两部分：一是工程建筑施工产生的生产废水，主要来源于施工机械的冲洗废水，主要含泥砂，并带有少量的油污，经隔油、沉淀和除渣后循环使用，不外排。二是施工人员产生的生活污水，施工期间产生的生活污水经自建的预处理池处理后，通过管网进入****处理厂处理。

3、噪声

为降低施工噪声对外界的影响，环评建议需采取的噪声控制措施如下：

（1）相对固定的机械设备尽量入棚操作，最大限度减少施工噪声对周围居民的影响。

（2）在结构和装修阶段，对建筑物外部采用围挡，减轻施工噪声对外环境的影响。

（3）施工单位所使用的主要施工机械应为低噪声机械设备，如选择液压机械取代燃油机械等，并及时维修保养，严格按操作规程使用各类机械。

（4）加强施工噪声管理，在不影响施工的前提下，尽量对高噪声的机械设备采用降噪措施。同时加强高噪声设备的维修管理，保证其正常运行，减少设备在非正常运行时所产生的噪声。加强车辆管理，控制车辆噪声，减轻交通噪声对周边环境的影响。

（5）合理安排施工时间，夜间22时至凌晨7时必须禁止使用强噪声施工机械和倾倒砂卵石料，尽量安排在白天进行施工，并避开人群休息时间，以避免噪声扰民。

（6）制订科学的施工计划，如有特殊需要必须连续作业的，应报生态环境部门批准，办理《夜间施工许可证》，在高噪声作业前及连续施工时及时公告施工时间，以取得周围住户的谅解，并合理安排作业时间，尽量缩短施工周期。

（7）装卸、搬运钢管、模板等严禁抛掷，木工房使用前应完全封闭。

（8）本次环评要求建设单位按照****建设局《关于进一步加强全市房屋建筑和市政基础设施工程项目夜间施工噪声管理的通知》（成住建发〔2020〕118号）相关要求，在建筑工程项目进出口显著位置公示《夜间施工许可证》，明确施工现场噪声污染防治责任人及投诉电话，畅通反映问题渠道，接受社会、市民的监督。主动采取多****社区、市民做好沟通解释工作，积极妥善处理夜间施工噪音投诉，争取周边居民对建筑工程项目的理解和支持。

4、固废

工程完工清理场地时将产生建渣，室内外装修施工将产生装修废弃物料，建筑废渣、装修废弃物料等由施工单位运至城市指定建渣的堆放点。

项目施工人员产生的生活垃圾经收集后清****处理场。

装修过程产生的废油漆桶、废涂料桶以及施工废水隔油池油污交由有资质单位处理。

二、运行期

1、废气

废气主要为研发试验阶段产生的工艺废气（包括工艺尾气、设备清洁废气、POU装置燃烧废气）、柴油发电机烟气、危废暂存间异味、食堂油烟。

（1）工艺尾气

项目CVD设备研发试验阶段设置CVD试片机台30台，机台自带“POU源头处理（燃烧+水洗）”装置，末端配套设置3套碱液喷淋塔（2用1备），每套碱液喷淋塔系统风量22000m3/h，每配套1根53m高排气筒，共计3根排气筒，排气筒编号DA001、DA002、DA003（备用系统排气筒）。

（2）柴油发电机烟气

设备自带的油烟净化器处理后，由专用烟道引至楼顶排放。

（3）危废暂存间异味

在确保安全的前提现，危险废物暂存间房间整体抽风换气，末端配套设置“活性炭吸附”装置作为保障措施。

（4）食堂油烟

油烟经油烟净化器处理后，经专用烟道排放。

2、废水

POU源头处理装置排水、碱液喷淋塔排水通过管道送入厂****处理站，采用“pH调节+2级化学沉淀除氟”工艺进行处理后，通过厂区废水总排口（DW001）排入市政污水管网，送入****处理厂处理后排入**河。

冷却塔排水、纯水制备废水直接经厂区废水总排口（DW001）排入市政污水管网，送入****处理厂处理后排入**河。

生活污水（食堂废水先隔油）经厂区自建预处理池处理后，经厂区废水总排口（DW001）排入市政污水管网，送入****处理厂处理后排入**河。

3、噪声

项目通过选用低噪声设备、风机工程降噪、设备维护等措施，项目厂界噪声可以达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准要求。

4、固废

项目固体废物主要包括危险废物和一般废物两类。

1）危险废物：

项目运营过程中，危险废物包括CVD机台定期维护产生的废冷却液、化学品使用过程中产生废包装材料（沾染化学品）、设备维护保养产生的废含油棉纱/手套、危险废物暂存间配套活性炭吸附装置更换耗材产生的废活性炭。统一收集暂存于厂区危险废物暂存间内，定期交有资质单位统一处置。

2）一般废物

废包装材料（未沾染化学品）：化学品使用过程中，部分未沾染化学品的废包装材料属于一般废物，由市政统一清运。

生活垃圾、餐厨垃圾：人员办公生活过程中，产生的生活垃圾由市政统一清运；餐厨垃圾，****公司统一清运。

预处理池污泥：生活污水预处理池定期清理，产生预处理池污泥。预处理池污泥由市政统一清运。

隔油池浮油：食堂隔油池定期清理，产生隔油池浮油。与餐厨垃圾一****公司统一清运。

氟化钙污泥：项目生产废水采用“pH调节+2级化学沉淀除氟”工艺，****处理站定期清理产生污泥（主要成分为氟化钙），由市政统一清运。

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