郑州市生态环境局关于拟作出麦斯克电子材料（郑州）有限公司年产360万片8英寸半导体特色硅抛光片项目环境影响评价文件审批意见的公示

序号

建设

单位

项目

名称

建设

地点

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众参与情况

1

麦斯克电子****公司

年产360万片8英寸半导体特色硅抛光片项目

**市****开发区枫香街与金柏路交叉口西南角

****公司

麦斯克电子****公司年产360万片8英寸半导体特色硅抛光片项目位于**市****开发区枫香街与金柏路交叉口西南角。项目总投资189714万元，占地面积53647.59平方米，总建筑面积58027平方米，建设内容主要包括：生产车间、综合动力站、综合仓库、化学品库、气体站及配套环保设施等；建成后年产360万片8英寸半导体特色硅抛光片

废气：用酸工序均在密闭通风柜顶部设置收集管道，酸性废气收集后经2套碱液喷淋塔（风量为15000m3/h和25000m3/h）处理后由2根23m高排气筒排放（DA001、DA002）；使用氨水工序均在密闭通风柜顶部设置收集管道，碱性废气收集后经1套酸液喷淋塔（风量30000m3/h）处理后由1根23m高排气筒排放（DA003）；真空泵废气经管道抽出后进入油雾净化器+活性炭吸附装置（风量2000m3/h）处理后由1根23m高排气筒（DA004）排放；清炉工序上方设置集气罩，废气收集后进入滤筒除尘器（风量4000m3/h）处理后由1根23m高排气筒（DA005）排放；硅烷废气经硅烷燃烧塔+滤筒除尘器（风量2000m3/h）处理后由1根23m高排气筒排放（DA006）；砂浆制备工序投料口上方设置集气罩，粉尘经收集后滤筒除尘器（风量2000m3/h）处理后由1根23m高排气筒排放（DA007）；喷砂废气经喷砂机密封收集后进入滤筒除尘器（风量4000m3/h）处理后由1根23m高排气筒排放（DA008）；食堂产生的油烟废气经集气罩收集后引入高效油烟净化器处理后由高出屋顶排气筒排放。

废水：运营期生产废水中含氟废水、酸碱废水及研磨废水经预处理后与循环冷却系统排水、纯水制备浓水、生活污水一起在厂区总排口排入市政污水管网，进****处理厂进行处理。

噪声：采取基础减振、厂房隔声等措施，厂界噪声可达标。

固废：危险废物暂存于危废间，定期委托资质单位处理；建设一般固废暂存区域，暂存本项目一般工业固体废物，定期外售综合利用；生活垃圾经厂内垃圾箱收集后，定期委托环卫部门清运。

在公众参与期间，没有收到附近居民及其他相关单位的意见反馈。