沈阳化工大学辽宁资源化工与材料协同创新中心平台设备更新项目—管/线材制造系统采购项目（国债项目）履约验收公告

一、合同编号： ****-002-001

二、合同名称： ********化****中心平台设备更新项目—管/线材制造系统采购项目（国债项目）合同

三、项目编号： ****

四、项目名称： ********化****中心平台设备更新项目—管/线材制造系统采购项目（国债项目）

五、合同主体

采购人（甲方）： ****

地 址： ****开发区11号街

联系方式： 024****6190

供应商（乙方）： ****

地 址： 木渎镇珠**路368号1425室

联系方式： 188****9049

六、合同主要信息

履约内容： 一、技术参数 1、炉体材质：内/外层304不锈钢，内壁抛光，外壁烤漆。 ★2、真空度要求：极限真空度≥5.0×10-5Pa；抽气速率达到7×10-4Pa时间40分钟以内。 3、最大卷径≥500mm，镀膜速度0.1-2mm/min，中心可通过带材宽度不低于20mm，最大溅射厚度可达到5μm。 4、旋转阴极磁控靶2套，磁控电源 2套。 ★5、卷饶系统采用高精度交流变频调速，对原卷材不划伤，收卷端面整齐，张力控制采用数字张力控制系统。 ★6、真空室配有镀膜辊（载冷剂442溶液）。 7、设备放线端配有离子清洗源，收线端配有加热系统（退火温度控制300-500℃，控温精度±1℃）。 8、充气采用质量流量计控制。 9、采用监控摄像头，对工件卷绕情况进行时时监视和控制。 ★二、配置 1、真空室：3套 2、镀膜辊：1套 3、放线系统：1套 4、收线系统：1套 5、靶及电源：各2套（预留一套备用） 6、离子清洗系统：1套 7、加热系统：1套 8、多级真空系统：1套 9、冷却系统：3套 10、气路系统：1套 11、电气控制系统：1套

履约要求： 一、技术参数 1、炉体材质：内/外层304不锈钢，内壁抛光，外壁烤漆。 ★2、真空度要求：极限真空度≥5.0×10-5Pa；抽气速率达到7×10-4Pa时间40分钟以内。 3、最大卷径≥500mm，镀膜速度0.1-2mm/min，中心可通过带材宽度不低于20mm，最大溅射厚度可达到5μm。 4、旋转阴极磁控靶2套，磁控电源 2套。 ★5、卷饶系统采用高精度交流变频调速，对原卷材不划伤，收卷端面整齐，张力控制采用数字张力控制系统。 ★6、真空室配有镀膜辊（载冷剂442溶液）。 7、设备放线端配有离子清洗源，收线端配有加热系统（退火温度控制300-500℃，控温精度±1℃）。 8、充气采用质量流量计控制。 9、采用监控摄像头，对工件卷绕情况进行时时监视和控制。 ★二、配置 1、真空室：3套 2、镀膜辊：1套 3、放线系统：1套 4、收线系统：1套 5、靶及电源：各2套（预留一套备用） 6、离子清洗系统：1套 7、加热系统：1套 8、多级真空系统：1套 9、冷却系统：3套 10、气路系统：1套 11、电气控制系统：1套

履约期限： 交货时间：在合同签订后的90个日历日内将所投产品运抵交货地点并安装调试完毕。

履约地点： 交货地点：****（采购人指定地点）。

七、验收日期： 2025年12月19日

九、验收意见： 验收通过