开启全网商机
登录/注册
| 高真空镀膜机 | 1.0/ | ****公司 | GT400 | 高真空镀膜系统可蒸镀多种金属材料(金、银、铜、铝等),也可以蒸镀多种有机材料(NPB、ALq3、BCP、TPBi、C60等),以及多种无机材料(LiF、SnO2、MoO3等)。 1. 真空系统 真空腔体由标准的304不锈钢焊接而成,内部形状为长方体,其尺寸为400mm*400mm*560mm,半导体级电解抛光处理,减少内部材料放气现象。真空腔体配备两个可 以完全打开的门,前门为移门,通过与直线导轨,滑块等装置连接,可使前门左右 开启与关闭,后期也可以连接手套箱,在手套箱内部操作前门开关,确保整个工作 环境处于氮气或惰性气体氛围中;后门旋转门,通过旋转轴实现后门的开关,开启 后腔体内部完全暴露在空气中,主要的目的为维护检修,并配一个长方形观察窗, 配合腔体外部照明灯,方便观察腔体内部状况。 腔体侧面装有抽气主管道,分子泵,插板阀,真空计,充气阀,角阀等真空配件,在腔体洁净,无污染的情况下,极限真空3.5*10-5pa,半小时可达到大气至5*10-4pa。该系统可以在不停分子泵的前提下,对腔体内部材料添加、更换,也可以取放基片。 2. 样品系统 该设备的样品架采用嵌入式结构,可搭载1片135mm*135mm基片,或多个小片向下兼容,掩模版到基片距离小于0.1mm。 样品架通过旋转轴,磁流体,联轴器,电机等装置连接,从而可实现0~30转/分钟。配备1套基片挡板系统,可以根据实际工作需求开启与关闭。 售后服务承诺: ①产品质保期为1年; ②质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外); ③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外)的更换,****公司承担; ④建立客户设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行; ⑤****公司进行技术支持的正式通知(含电话或邮件通知)后,我公司技术人员于48小时内,赶到技术服务现场; ⑥对于质保期以外设备的维护,我公司只收取成本费; ⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 | 按行业标准提供服务 1. 供应商承诺保证原装正品,送货上门,上门安装调试,序列号可查; 2. 为保证使用要求,投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致; 3.质保期壹年,三年内维护只收材料成本费,终生维护。 |