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脉冲激光烧蚀沉积装置 (XJD2026012000001) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年01月20日

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脉冲激光采购公告

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脉冲激光烧蚀沉积装置 (****) 采购公告

发布时间：2026-01-20 11:18:12

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

脉冲激光烧蚀沉积装置	****
2026-01-20 11:18:12	2026-01-23 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	合同签订后90天内送达
	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

脉冲激光烧蚀沉积装置

1.00

套

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

"一、主要参数指标要求: 1.扫描靶台系统:软件控制四轴靶台，可软件控制靶材切换和靶材面扫功能;移动范围X:12.5mmY:12.5mmZ:100mm,一个传样位5个靶位，一次性可传所有靶材,插拔式扫描靶托。 2.真空腔体:球型腔体形状;316L不锈钢腔体材质，腔体内部电抛光处理，腔体极限真空度:6×10-9mbar。 3.样品台加热系统:不少于自转软件控制四轴样品台，基片移动范围X:15mm,Y:15mm，Z:30mm(腔内调节);定制靶基距40-70mm可调。兼容真空互联FLAGTYPE样品托及方型SIC样品托，样品最大尺寸1英寸。 4.真空和测量系统:配置不少于全量程真空计、薄膜真空计、分子泵、前级涡旋干泵等配置，保证真空抽速及测量精度等。工艺控制气压可从0.005mbar至0.5mbar范围调节。 5.沉积系统支撑台:进口高损伤阈值248nm光学透镜，焦距f=500mm，含可移动脚轮铝型材桌、透镜支架等附件。 6.气路管道:进口质量流量控制计;高压气体入口气动阀门DN16CF。 7.可拓展激光防护架:铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩,可拓展到多系统;进口不小于2英寸激光反射镜及支架等。 8.其他辅助控制部分:工艺气压控制;样品台加热软件控制模块及自转控制;具有靶台扫描和公转控制功能，待机状态自动停止扫描功能，防止长期转动减少轴承寿命;靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台。脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式。二、配置要求:扫描靶台系统:四轴靶台不少于1个；5个靶位的插拔式扫描靶托1个；真空腔体1个；四轴样品台1个；兼容真空互联HLAGTYPE样品托以及方型SIC样品托1个。分子泵不少于1台；前级涡旋干泵1台；全量程真空计至少1个；薄膜真空计不少于1个；气动工艺控制阀CF35HTC不少于1个；粗抽角阀1个;KF25阀门1个；质量流量控制计至少1个，二路气体1路工艺气体02和破真空用的N2；高压气体入口气动阀门DN16CF3个;带脚轮和水平脚架的可移动铝型材桌1个；光学透镜不少于1个；透镜支架、滑轨不少于1个；铝型材光路支架1套;反射镜和配套反射镜支架不少于3套；控制和辅助系统1套。"

按行业标准提供服务，质保期36个月。"1.参与竞价者必须提供详细的竞价技术方案书及配置清单明细，以确保达到技术指标要求。 2.质保期：3年。质保期满后，仍需提供专业维修服务。 3.售后跟踪服务要求：供货方接到维修电话1小时内给予明确答复，4小时内到达现场处理。 4.为保证装置达到用户技术指标要求、技术参数使用稳定，及时的售后维护服务、及实现用户后期二次功能扩充，参与竞价者需在**有持续跟踪响应售后的工程师。"