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| 多尺度原位表征系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 多尺度原位表征系统 |
| 预算金额: | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
1、分析精度:优于1nm;2、放大倍率:1~250万倍;3、真空系统:无油真空系统,真空度≤9×10-8 Pa;4、扩展接口≥24个,便于原位装置安装;5、配备摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。6、样品仓容积:宽≥380 mm,高≥290 mm,深≥330 mm;7、最大样品尺寸:直径≥300 mm,高≥70 mm;8、预留液态镓离子枪升级接口,可在原有设备上升级离子束刻蚀与分析模块;9、具备扫描透射电子明场、暗场、高角暗场多种成像模式;10、预留低温样品台扩展接口。
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| 预计采购时间: | 2026-01 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写