多尺度原位表征系统

发布时间: 2026年01月21日
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****2026年1至12月政府采购意向-多尺度原位表征系统 详细情况
多尺度原位表征系统
项目所在采购意向: ****2026年1至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 多尺度原位表征系统
预算金额: 320.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
1、分析精度:优于1nm;2、放大倍率:1~250万倍;3、真空系统:无油真空系统,真空度≤9×10-8 Pa;4、扩展接口≥24个,便于原位装置安装;5、配备摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。6、样品仓容积:宽≥380 mm,高≥290 mm,深≥330 mm;7、最大样品尺寸:直径≥300 mm,高≥70 mm;8、预留液态镓离子枪升级接口,可在原有设备上升级离子束刻蚀与分析模块;9、具备扫描透射电子明场、暗场、高角暗场多种成像模式;10、预留低温样品台扩展接口。
预计采购时间: 2026-01
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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