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| 1 | 晶圆级集成电路存算器件多场极化测试系统 | 系统具备业内领先的电学测试能力与多场耦合表征功能,能够全面覆盖铁电、光电、热电耦合器件的关键性能指标测试需求。输出频率覆盖0.01 Hz-10 MHz;输出与测量电流范围达1 pA-1 A;支持10 kV电压输出;最小50 ns脉冲宽度与10 ns脉冲上升时间;疲劳测试频率范围覆盖1 Hz ~ 16 MHz;可在1280×1000 mm范围内施加空间分辨可调的光照场,每个10 μm × 10 μm光斑的灰度等级在0–255之间精细可调;;支持4.5 K ~ 475 K可调变温测试。 | ****000.00 | 2026-03 |